[实用新型]一种单晶硅片生产检测装置

权利要求书

1.一种单晶硅片生产检测装置，包括检测装置外架(1)、检测控制台(2)、移动检测螺杆(9)和晶片放置架(15)，其特征在于：所述检测装置外架(1)上表面固定连接有检测控制台(2)，所述检测控制台(2)外表面设置有硅片数据显示器(4)，所述检测装置外架(1)外表面一侧固定连接有螺杆控制电机(19)，所述螺杆控制电机(19)内侧传动连接有移动检测螺杆(9)，所述移动检测螺杆(9)另一端转动连接在检测装置外架(1)内壁表面，所述移动检测螺杆(9)外表面一侧螺纹连接有移动检测环一(10)，所述移动检测螺杆(9)外表面另一侧螺纹连接有移动检测环二(11)，所述移动检测环一(10)和移动检测环二(11)分别设置在移动检测滑块(12)两侧位置，所述移动检测滑块(12)中间贯穿设置有移动检测螺杆(9)，所述移动检测滑块(12)下端固定连接有连接固定架(13)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片生产检测装置，其特征在于：所述连接固定架(13)下端设置有外观检测器(14)，所述外观检测器(14)下表面设置有红外扫描机构。

3.根据权利要求2所述的一种单晶硅片生产检测装置，其特征在于：所述检测装置外架(1)内部顶端固定连接有内置顶端滑轨(7)，所述内置顶端滑轨(7)下端两侧均滑动连接有限位机构(8)，两个所述限位机构(8)下端分别固定连接在移动检测环一(10)和移动检测环二(11)上表面。

4.根据权利要求3所述的一种单晶硅片生产检测装置，其特征在于：所述检测装置外架(1)内部底端两侧均固定连接有升降电动推杆(18)，两个所述升降电动推杆(18)上端分别固定连接在升降固定架(17)下端两侧。

5.根据权利要求4所述的一种单晶硅片生产检测装置，其特征在于：所述升降固定架(17)上表面固定连接有晶片放置架(15)，所述晶片放置架(15)上表面固定连接有三个晶片检测台(16)。

6.根据权利要求5所述的一种单晶硅片生产检测装置，其特征在于：所述晶片检测台(16)上表面设置有多个防滑条纹(20)。

7.根据权利要求6所述的一种单晶硅片生产检测装置，其特征在于：所述检测装置外架(1)外表面一侧转动连接有外架保护门(5)，所述检测装置外架(1)外表面另一侧设置有检测观察窗(6)。

8.根据权利要求7所述的一种单晶硅片生产检测装置，其特征在于：所述检测装置外架(1)上表面设置有多个检测控制按键(3)。