[实用新型]一种单晶硅片生产检测装置

说明书

本实用新型公开了一种单晶硅片生产检测装置，包括检测装置外架、检测控制台、移动检测螺杆和晶片放置架，所述检测装置外架上表面固定连接有检测控制台，所述检测控制台外表面设置有硅片数据显示器，本实用新型通过设置的移动检测螺杆，在对晶片放置架上端不同位置的单晶硅片检测时，通过螺杆控制电机控制移动检测螺杆转动，使移动检测螺杆外侧螺纹连接的移动检测环一和移动检测环二拉动移动检测滑块以水平方向移动，在移动检测滑块移动时，与移动检测滑块下端通过连接固定架相连的外观检测器能够随之移动，以此方式能够通过螺杆控制电机控制外观检测器在晶片放置架上端不同位置的单晶硅片进行检测，较为便捷。

技术领域

本实用新型属于单晶硅片检测技术领域，具体涉及一种单晶硅片生产检测装置。

背景技术

单晶硅片：硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料。纯度要求达到99.9999％，甚至达到99.9999999％以上。用于制造半导体器件、太阳能电池等。用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势，近三十年来，太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展，成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。

现有技术的单晶硅片生产检测装置在对不同单晶硅片检测时，需要通过人工手动调整检测机构的位置，这种方式较为麻烦，因此需要设计一种便于对不同位置的单晶硅片的检测装置。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种单晶硅片生产检测装置，以解决上述背景技术中提出的现有技术的单晶硅片检测装置不便于对不同位置单晶硅片检测的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶硅片生产检测装置，包括检测装置外架、检测控制台、移动检测螺杆和晶片放置架，所述检测装置外架上表面固定连接有检测控制台，所述检测控制台外表面设置有硅片数据显示器，所述检测装置外架外表面一侧固定连接有螺杆控制电机，所述螺杆控制电机内侧传动连接有移动检测螺杆，所述移动检测螺杆另一端转动连接在检测装置外架内壁表面，所述移动检测螺杆外表面一侧螺纹连接有移动检测环一，所述移动检测螺杆外表面另一侧螺纹连接有移动检测环二，所述移动检测环一和移动检测环二分别设置在移动检测滑块两侧位置，所述移动检测滑块中间贯穿设置有移动检测螺杆，所述移动检测滑块下端固定连接有连接固定架。

优选的，所述连接固定架下端设置有外观检测器，所述外观检测器下表面设置有红外扫描机构。

优选的，所述检测装置外架内部顶端固定连接有内置顶端滑轨，所述内置顶端滑轨下端两侧均滑动连接有限位机构，两个所述限位机构下端分别固定连接在移动检测环一和移动检测环二上表面。

优选的，所述检测装置外架内部底端两侧均固定连接有升降电动推杆，两个所述升降电动推杆上端分别固定连接在升降固定架下端两侧。

优选的，所述升降固定架上表面固定连接有晶片放置架，所述晶片放置架上表面固定连接有三个晶片检测台。

优选的，所述晶片检测台上表面设置有多个防滑条纹。

优选的，所述检测装置外架外表面一侧转动连接有外架保护门，所述检测装置外架外表面另一侧设置有检测观察窗。

优选的，所述检测装置外架上表面设置有多个检测控制按键。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种单晶硅片生产检测装置，具备以下有益效果：