[实用新型]一种LED芯片对位装置有效
| 申请号： | 202221860627.0 | 申请日： | 2022-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN217879985U | 公开（公告）日： | 2022-11-22 |
| 发明（设计）人： | 李慧敏;钟伟华;彭足超;李景浩;鲁日彬;蔡武 | 申请（专利权）人： | 福建兆元光电有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人： | 唐燕玲 |
| 地址： | 350109 福建省福州*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 led 芯片 对位 装置 | ||
1.一种LED芯片对位装置，其特征在于，包括设置有对位标记的基板和光罩：
所述对位标记包括曝光机定位识别标记和镜检检验标记；
所述基板上的第一曝光机定位识别标记与所述光罩上的第二曝光机定位识别标记位置相对应，所述基板上每一膜层的所述第一曝光机定位识别标记形状不同；
所述基板上的第一镜检检验标记与所述光罩上的第二镜检检验标记位置相对应，所述第一镜检检验标记和所述第二镜检检验标记均为十字形状。
2.根据权利要求1所述的一种LED芯片对位装置，其特征在于，所述第一镜检检验标记外围设置有多层与所述第一镜检检验标记形状相同、同心且尺寸不同的测量标记。
3.根据权利要求2所述的一种LED芯片对位装置，其特征在于，所述第一镜检检验标记与最接近的所述测量标记的间距为1μm；
相邻的所述测量标记的间距为1μm。
4.根据权利要求1所述的一种LED芯片对位装置，其特征在于，所述第一曝光机定位识别标记的长度和高度均为110～130μm。
5.根据权利要求1所述的一种LED芯片对位装置，其特征在于，所述第二曝光机定位识别标记的长度和高度均为250～270μm。
6.根据权利要求1所述的一种LED芯片对位装置，其特征在于，所述第一镜检检验标记的长度和高度均小于50μm。
7.根据权利要求1所述的一种LED芯片对位装置，其特征在于，所述第二镜检检验标记与所述第一镜检检验标记的间距为3～5μm。
8.根据权利要求1所述的一种LED芯片对位装置，其特征在于，所述第一曝光机定位识别标记和所述第一镜检检验标记的中心点在同一水平线上；
所述第一曝光机定位识别标记和所述第一镜检检验标记的距离大于100μm。
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