[实用新型]一种应用于芯片引线框架的卷对卷连续曝光装置有效
申请号: | 202221866022.2 | 申请日: | 2022-07-19 |
公开(公告)号: | CN218273082U | 公开(公告)日: | 2023-01-10 |
发明(设计)人: | 叶飞 | 申请(专利权)人: | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03F9/00 |
代理公司: | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人: | 张风雷 |
地址: | 230088 安徽省*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 应用于 芯片 引线 框架 连续 曝光 装置 | ||
1.一种应用于芯片引线框架的卷对卷连续曝光装置,包括机架(10)、设置在机架顶部的曝光机(20)以及设置在曝光机下方用于吸附卷料的吸盘(30),其特征在于,还包括:
顶升机构,所述顶升机构包括两个沿卷料输送方向分置于吸盘两端的顶升组件;
收料卷机构,所述收料卷机构设置在曝光机下料端,用于将曝光后卷料输出;以及
标定机构,所述标定机构设置在机架上且位于卷料上方,用于对曝光机镜头进行标定。
2.根据权利要求1所述的应用于芯片引线框架的卷对卷连续曝光装置,其特征在于,所述顶升组件包括固设在机架上的托举辊安装板(410)、垂设在托举辊安装板顶部的顶升气缸(420)、设置在顶升气缸输出端的托举辊固定支架(430)以及转动设置在托举辊固定支架上的托举辊(440)。
3.根据权利要求2所述的应用于芯片引线框架的卷对卷连续曝光装置,其特征在于,所述收料卷机构包括至少三个呈上下交替间隔分布的滚筒(510)以及用于安装滚筒的滚筒连接件(520),所述滚筒通过固定轴(530)转动设置在滚筒连接件上。
4.根据权利要求3所述的应用于芯片引线框架的卷对卷连续曝光装置,其特征在于,当所述滚筒(510)数量为三个时,三个所述滚筒呈V字形设置。
5.根据权利要求4所述的应用于芯片引线框架的卷对卷连续曝光装置,其特征在于,所述标定机构包括设置在机架上的固定支架一(610)、垂直于卷料输送方向设置在固定支架一上的固定支架二(620)以及设置在固定支架二上用于标定的相机(630)。
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