[实用新型]一种用于晶圆片生产的成品收纳集料装置

权利要求书

1.一种用于晶圆片生产的成品收纳集料装置，包括晶圆生产装置(1)，其特征在于，所述晶圆生产装置(1)上表面固定安装有龙门架(2)，所述龙门架(2)呈U字形机构，所述龙门架(2)侧壁固定安装有底板(4)，所述底板(4)侧壁固定安装有盖板(3)，所述盖板(3)外壁滑动连接有连接板(14)；

所述连接板(14)外壁固定安装有型材管(5)，所述型材管(5)顶端固定安装有间接马达罩(6)，所述间接马达罩(6)远离型材管(5)的一端固定安装有驱动马达(7)，所述型材管(5)与驱动马达(7)位于间接马达罩(6)内部的部分通过皮带相连接，所述型材管(5)内部滑动连接有连接杆(20)，所述连接杆(20)底端固定连接有连接箱(11)，所述连接箱(11)底部固定安装有吸盘头(10)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆片生产的成品收纳集料装置，其特征在于，所述晶圆生产装置(1)上表面还固定安装有硅片托板(8)，所述硅片托板(8)位于龙门架(2)一侧的支腿处，所述硅片托板(8)上方插接有限位杆(9)，所述硅片托板(8)上表面堆放有硅片。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆片生产的成品收纳集料装置，其特征在于，所述连接板(14)远离型材管(5)的一侧固定安装有滑动板(15)，所述连接板(14)与滑动板(15)套接在盖板(3)外壁，所述滑动板(15)外壁固定安装有滑块(16)与滑动座(17)，两组所述滑块(16)分布于滑动板(15)上下两侧，所述滑动座(17)位于两组滑块(16)之间。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆片生产的成品收纳集料装置，其特征在于，所述底板(4)一端固定安装有驱动电机(13)，所述底板(4)内部转动连接有丝杆(12)，所述驱动电机(13)输出轴与底板(4)内部的丝杆(12)相连接。

5.根据权利要求3所述的一种用于晶圆片生产的成品收纳集料装置，其特征在于，所述滑动座(17)外壁与底板(4)两端均固定安装有防撞垫块(18)，所述防撞垫块(18)呈锥台形结构。

6.根据权利要求2所述的一种用于晶圆片生产的成品收纳集料装置，其特征在于，所述硅片托板(8)上表面呈箭头状开设有多组限位插孔(19)，每组所述限位插孔(19)均能与限位杆(9)相连接。