[实用新型]一种针对等离子设备的电极保护机构有效

专利信息
申请号: 202221891685.X 申请日: 2022-07-22
公开(公告)号: CN218183581U 公开(公告)日: 2022-12-30
发明(设计)人: 陈睿;徐重;吴红艳;黄俊;张成远;胡磊;张斌 申请(专利权)人: 苏州襄行辉光技术有限公司
主分类号: H05H1/34 分类号: H05H1/34;H05H1/28
代理公司: 苏州铭恒知识产权代理事务所(普通合伙) 32463 代理人: 吴月琴
地址: 215000 江苏省苏州市相城区黄桥*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 针对 等离子 设备 电极 保护 机构
【权利要求书】:

1.一种针对等离子设备的电极保护机构,其特征在于,包括炉内电极杆、铜电极、炉底电极管、炉底电极管法兰、电极法兰、电极固定套、电极二段固定套和金属保护套,所述炉内电极杆连接有铜电极,所述炉底电极管的下端连接有炉底电极管法兰,所述炉底电极管法兰与电极法兰相连接,所述电极固定套从炉底电极管上端塞入至电极法兰底部且完全贴合,所述电极固定套填满炉底电极管,所述电极二段固定套设置于电极固定套上端,所述金属保护套设置于电极二段固定套上端,所述电极固定套和电极二段固定套均为内端紧贴穿过铜电极及炉内电极杆,外端紧贴炉底电极管。

2.根据权利要求1所述的一种针对等离子设备的电极保护机构,其特征在于:所述炉内电极杆通过螺纹连接铜电极。

3.根据权利要求1所述的一种针对等离子设备的电极保护机构,其特征在于:所述电极法兰与炉底电极管法兰内均设有用于密封的密封圈。

4.根据权利要求1所述的一种针对等离子设备的电极保护机构,其特征在于:所述铜电极内插入有水冷冷却的水冷管,所述水冷管设于电极机构内。

5.根据权利要求1所述的一种针对等离子设备的电极保护机构,其特征在于:所述电极固定套和电极二段固定套均采用绝缘的聚四氟乙烯材料。

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