[实用新型]一种针对等离子设备的电极保护机构

说明书

本实用新型公开了一种针对等离子设备的电极保护机构，包括炉内电极杆、铜电极、炉底电极管、炉底电极管法兰、电极法兰、电极固定套、电极二段固定套和金属保护套，电极固定套插入到电极法兰底部，完全贴合，又填满炉底电极管起到隔绝及与支撑作用，电极二段固定套为金属保护套起到定位固定作用，且方便维护，通电以后炉内电极杆会产生辉光放电，金属保护套内的间隙保护就会起到辉光的隔绝作用，保护了电极机构及设备受到辉光的影响，本实用新型解决了真空离子镀膜电极存在的弧光放电现象，极大的提高了工作效率及设备寿命。

技术领域：

本实用新型涉及电极技术领域，尤其涉及一种针对等离子设备的电极保护机构。

背景技术：

最初电极没有任何保护机构，会使电极杆与炉壳或底板产生强烈的弧光放电现象，严重时会造成设备损伤，市面上类似结构往往会采用陶瓷管进行保护，但陶瓷加工困难，往往精度无法保证，有些细小的缝隙得不到保护。

实用新型内容：

针对上述问题，本实用新型要解决的技术问题是提供一种针对等离子设备的电极保护机构，包括炉内电极杆、铜电极、炉底电极管、炉底电极管法兰、电极法兰、电极固定套、电极二段固定套和金属保护套，所述炉内电极杆连接有铜电极，所述炉底电极管的下端连接有炉底电极管法兰，所述炉底电极管法兰与电极法兰相连接，所述电极固定套从炉底电极管上端塞入至电极法兰底部且完全贴合，所述电极固定套填满炉底电极管，所述电极二段固定套设置于电极固定套上端，所述金属保护套设置于电极二段固定套上端，所述电极固定套和电极二段固定套均为内端紧贴穿过铜电极及炉内电极杆，外端紧贴炉底电极管。

优选的，所述炉内电极杆通过螺纹连接铜电极。

优选的，所述电极法兰与炉底电极管法兰内均设有用于密封的密封圈。

优选的，所述铜电极内插入有水冷冷却的水冷管，所述水冷管设于电极机构内。

优选的，所述电极固定套和电极二段固定套均采用绝缘的聚四氟乙烯材料。

本实用新型有益效果：本实用新型的电极固定套插入到电极法兰底部，完全贴合，又填满炉底电极管起到隔绝及与支撑作用，电极二段固定套为上方工作区域的金属保护套起到定位固定作用，且方便维护，通电以后炉内电极杆会产生辉光放电，金属保护套内的间隙保护就会起到辉光的隔绝作用，切断炉内电极杆的辉光传导到铜电极及其他机构上，保护了电极机构及设备受到辉光的影响。本实用新型解决了真空离子镀膜电极存在的弧光放电现象，极大的提高了工作效率及设备寿命。

附图说明：

为了易于说明，本实用新型由下述的具体实施及附图作以详细描述。

图1为本实用新型整体结构示意图。

图中：1-炉内电极杆；2-铜电极；3-炉底电极管；4-炉底电极管法兰；5-电极法兰；6-电极固定套；7-电极二段固定套；8-金属保护套；9-水冷管；10-电极机构。

具体实施方式：

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面通过附图中示出的具体实施例来描述本实用新型。但是应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。