[实用新型]一种半导体设备气体泄漏检测装置

权利要求书

1.一种半导体设备气体泄漏检测装置，包括机架(1)，所述机架(1)的上方设有两个对称设置的测试框(2)，且每个所述测试框(2)的顶部均设有盖板(3)，两个所述测试框(2)均与机架(1)的顶部滑动连接；

其特征在于，还包括：

过滤箱(4)，所述过滤箱(4)水平位于一个盖板(3)的上方，且所述过滤箱(4)与盖板(3)固定连接，一个测试框(2)的旁侧设有多个沿其长度方向等间距竖直设置的连通管(5)，且每个所述连通管(5)的顶端均与过滤箱(4)相连通；

驱动电机(6)，安装在机架(1)的底部，且所述驱动电机(6)的输出端贯穿机架(1)并延伸出去，所述驱动电机(6)的输出端上安装有驱动伞齿(7)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体设备气体泄漏检测装置，其特征在于：所述驱动伞齿(7)的上方水平设有正反螺纹杆(8)，且所述正反螺纹杆(8)与机架(1)转动连接，所述正反螺纹杆(8)的中段套设有转动伞齿(9)，且所述转动伞齿(9)与驱动伞齿(7)相啮合，两个所述测试框(2)间隔套设在正反螺纹杆(8)上，且所述转动伞齿(9)位于两个测试框(2)之间。

3.根据权利要求1所述的一种半导体设备气体泄漏检测装置，其特征在于：每个所述测试框(2)内均设有多个沿其长度方向等间距安装的挡板(10)，且一个测试框(2)内的每个挡板(10)均与另一个测试框(2)内的一个挡板(10)相贴合，每个所述挡板(10)的顶部均与一个盖板(3)的底部相贴合。

4.根据权利要求1所述的一种半导体设备气体泄漏检测装置，其特征在于：每个所述连通管(5)内均设有转动扇(11)，且所述转动扇(11)均与一个连通管(5)的内壁转动连接，所述转动扇(11)的轴端贯穿一个连通管(5)并延伸出去，所述转动扇(11)的轴端上设有三个沿其周向等角度安装的扇叶(12)，每个所述连通管(5)的顶端均延伸至过滤箱(4)内，所述过滤箱(4)内水平安装有过滤网(13)。

5.根据权利要求1所述的一种半导体设备气体泄漏检测装置，其特征在于：另一个测试框(2)的旁侧设有多个竖直设置的循环管(14)，每个所述循环管(14)的底端均贯穿机架(1)的底部并延伸出去，每个循环管(14)的顶端均延伸至另一个测试框(2)内，多个循环管(14)均相连通，另一个测试框(2)的侧壁上安装有水泵(15)，且所述水泵(15)的输出端与一个循环管(14)相连通，所述机架(1)的顶部滑动设有阻挡板(16)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体设备气体泄漏检测装置，其特征在于：所述机架(1)的底部设有出水管(17)，且所述出水管(17)的顶端延伸至机架(1)内，所述出水管(17)上套设有电磁阀(18)。