[实用新型]一种半导体设备气体泄漏检测装置

说明书

本实用新型公开了一种半导体设备气体泄漏检测装置，包括机架，所述机架的上方设有两个对称设置的测试框，且每个所述测试框的顶部均设有盖板，两个所述测试框均与机架的顶部滑动连接；还包括：过滤箱，所述过滤箱水平位于一个盖板的上方，且所述过滤箱与盖板固定连接，一个测试框的旁侧设有多个沿其长度方向等间距竖直设置的连通管，且每个所述连通管的顶端均与过滤箱相连通；驱动电机，安装在机架的底部，且所述驱动电机的输出端贯穿机架并延伸出去，所述驱动电机的输出端上安装有驱动伞齿，该半导体设备气体泄漏检测装置，能够对半导体设备传输管道泄漏出的气体进行稀释，从而避免泄漏的有毒气体对周围环境造成危害。

技术领域

本实用新型涉及气密性检测技术领域，具体为一种半导体设备气体泄漏检测装置。

背景技术

半导体设备为半导体元件制造的电气设备，在半导体设备工作时，会使用有毒或者可燃物质，所以需要半导体设备气体泄漏检测装置，但现在的半导体设备气体泄漏检测装置在使用的过程中仍存在一些不足。

如公开号为CN215832930U的一种气体泄漏检测设备，通过DD马达带动双向丝杆转动，使得两滑块相互靠近或远离，根据不同的产品进行适配，竖板推动安装筒移动，使得夹紧板一端与产品表面贴合夹紧，夹紧时推杆推动推板在滑杆上滑动，使得第一压缩弹簧压缩，在第一压缩弹簧回复力作用下保证对产品夹紧稳定，调节气缸推动安装板向下移动，将气体泄漏检测主体上的测量气口接入待测产品的闲置接口，进行检测，对产品检测方便，产品固定稳定，但是其在使用过程中，仅能对半导体设备的气密性进行检测，但由于半导体设备会使用许多有毒和可燃物质，当这些气体泄漏后，会造成空气的污染，以及工作人员的误吸。

所以我们提出了一种半导体设备气体泄漏检测装置，以便于解决上述中提出的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体设备气体泄漏检测装置，以解决上述背景技术提出的目前市场上半导体设备气体泄漏检测装置，仅能对半导体设备的气密性进行检测，但由于半导体设备会使用许多有毒和可燃物质，当这些气体泄漏后，会造成空气的污染，以及工作人员的误吸的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体设备气体泄漏检测装置，包括机架，所述机架的上方设有两个对称设置的测试框，且每个所述测试框的顶部均设有盖板，两个所述测试框均与机架的顶部滑动连接；

还包括：

过滤箱，所述过滤箱水平位于一个盖板的上方，且所述过滤箱与盖板固定连接，一个测试框的旁侧设有多个沿其长度方向等间距竖直设置的连通管，且每个所述连通管的顶端均与过滤箱相连通；

驱动电机，安装在机架的底部，且所述驱动电机的输出端贯穿机架并延伸出去，所述驱动电机的输出端上安装有驱动伞齿。

优选的，所述驱动伞齿的上方水平设有正反螺纹杆，且所述正反螺纹杆与机架转动连接，所述正反螺纹杆的中段套设有转动伞齿，且所述转动伞齿与驱动伞齿相啮合，两个所述测试框间隔套设在正反螺纹杆上，且所述转动伞齿位于两个测试框之间。

通过采用上述技术方案，当半导体设备气体泄漏检测装置运作时，驱动电机带动驱动伞齿转动，使驱动伞齿带动与其啮合的转动伞齿转动，使正反螺纹杆转动，套设在正反螺纹杆上的两个测试框沿正反螺纹杆的长度方向相对移动，将半导体设备的传输管道进行包覆，两个测试框相贴合形成一个密闭空间。

优选的，每个所述测试框内均设有多个沿其长度方向等间距安装的挡板，且一个测试框内的每个挡板均与另一个测试框内的一个挡板相贴合，每个所述挡板的顶部均与一个盖板的底部相贴合。

通过采用上述技术方案，当半导体设备气体泄漏检测装置运作时，两个测试框将半导体设备的传输管道进行包覆后，挡板可将传输管道分隔成多段，便于对传输管道的泄漏口进行判断。