[实用新型]柔性对接锁紧装置

权利要求书

1.柔性对接锁紧装置，包括晶圆机械手(1)、叉臂(2)、对接插头(3)、晶圆丫叉存储库(4)和晶圆丫叉(6)，所述晶圆机械手(1)上的驱动端设置有若干个叉臂(2)，所述叉臂(2)上设置有对接插头(3)，所述晶圆丫叉存储库(4)上沿着Z轴方向均匀的设置有若干个存储架(5)，所述存储架(5)上沿着X轴方向设置有晶圆丫叉(6)，其特征在于，所述对接插头(3)与晶圆丫叉(6)沿着X轴负方向的一侧相连接，所述存储架(5)的底部沿着X轴方向均匀的设置有若干个夹持调整机构，所述夹持调整机构包括夹持气缸(8)和柔性支撑座(9)，所述夹持气缸(8)沿着Y轴方向两侧的驱动端连接设置有夹持块(7)，所述夹持块(7)从下往上穿过存储架(5)后且位于晶圆丫叉(6)沿着Y轴方向两侧的位置，所述柔性支撑座(9)包括安装座(10)和连接座(12)，所述安装座(10)沿着Y轴负方向的一侧安装在存储架(5)上，所述安装座(10)沿着Y轴正方向的一侧通过板簧(11)与连接座(12)相连接，所述连接座(12)上设置有轴承(14)，所述轴承(14)底部的轴承座沿着Y轴方向的两侧分别与连接座(12)之间连接设置有平衡轴(13)，所述轴承(14)的顶部与上方的存储架(5)相连接。

2.如权利要求1所述的柔性对接锁紧装置，其特征在于，所述对接插头(3)沿着X轴正方向的一侧设置有两个联结轴(16)，所述联结轴(16)插接入晶圆丫叉(6)沿着X轴负方向一侧的插接槽内。

3.如权利要求2所述的柔性对接锁紧装置，其特征在于，所述插接槽的外侧沿着X轴方向设置有若干个分离顶针(17)，所述分离顶针(17)与外侧的夹持块(7)相连接，所述插接槽的内侧沿着X轴方向设置有若干个锁紧卡扣(18)。

4.如权利要求3所述的柔性对接锁紧装置，其特征在于，所述锁紧卡扣(18)的内侧设置有锁紧弹簧(19)。

5.如权利要求1所述的柔性对接锁紧装置，其特征在于，所述对接插头(3)和晶圆丫叉(6)插接处的位置还设置有风琴吸盘(22)，所述对接插头(3)内沿着X轴的正方向依次设置有相互连接的第一真空气道(20)和第二真空气道(21)，所述晶圆丫叉(6)内沿着X轴的正方向依次设置有相互连接的第三真空气道(23)和第四真空气道(24)，所述风琴吸盘(22)分别与两侧的第二真空气道(21)和第三真空气道(23)相连通。

6.如权利要求1所述的柔性对接锁紧装置，其特征在于，所述平衡轴(13)的外侧套设有平衡弹簧(15)。

7.如权利要求1所述的柔性对接锁紧装置，其特征在于，所述晶圆机械手(1)上的驱动端设置有两个叉臂(2)，所述晶圆丫叉存储库(4)上沿着Z轴方向均匀的设置有六个存储架(5)。