[实用新型]柔性对接锁紧装置

说明书

本实用新型涉及一种柔性对接锁紧装置，包括晶圆机械手、叉臂、对接插头、晶圆丫叉存储库和晶圆丫叉，晶圆机械手上的驱动端设置有若干个叉臂，叉臂上设置有对接插头，晶圆丫叉存储库上沿着Z轴方向均匀的设置有若干个存储架，存储架上沿着X轴方向设置有晶圆丫叉，对接插头与晶圆丫叉沿着X轴负方向的一侧相连接，存储架的底部沿着X轴方向均匀的设置有若干个夹持调整机构。本实用新型通过双轴定位、双卡槽自锁和双弹簧实现常态锁紧，防止松脱，夹持兼顾解锁功能。

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工相关技术领域，尤其涉及一种柔性对接锁紧装置。

背景技术

随着半导体领域在国内大大规模发展，国内半导体制造对新技术、新工艺开发激增，晶圆加工作为半导体制程的核心工艺制程，晶圆加工对设备需求量在较短时间内短板快速增长，给半导体领域配套的设备厂商提供了很大技术研发的动力，对于半导体制造领域的高标准、高可靠性的特点，要求设备尽量少的人工干预过程管控，避免人为因素的制造缺陷和制造误差；以全产线统一的信息交互和信息传递为目标，全程信息追溯跟踪每一个产品的质量信息管控；对于设备的全自动运行，全信息交互，做到无人参与全自动化生产；开发设备需求的全自动化模块是全自动设备的必要技术和必要功能。

有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种柔性对接锁紧装置，使其更具有产业上的利用价值。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种柔性对接锁紧装置。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种柔性对接锁紧装置，包括晶圆机械手、叉臂、对接插头、晶圆丫叉存储库和晶圆丫叉，晶圆机械手上的驱动端设置有若干个叉臂，叉臂上设置有对接插头，晶圆丫叉存储库上沿着Z轴方向均匀的设置有若干个存储架，存储架上沿着X轴方向设置有晶圆丫叉，对接插头与晶圆丫叉沿着X轴负方向的一侧相连接，存储架的底部沿着X轴方向均匀的设置有若干个夹持调整机构，夹持调整机构包括夹持气缸和柔性支撑座，夹持气缸沿着Y轴方向两侧的驱动端连接设置有夹持块，夹持块从下往上穿过存储架后且位于晶圆丫叉沿着Y轴方向两侧的位置，柔性支撑座包括安装座和连接座，安装座沿着Y轴负方向的一侧安装在存储架上，安装座沿着Y轴正方向的一侧通过板簧与连接座相连接，连接座上设置有轴承，轴承底部的轴承座沿着Y轴方向的两侧分别与连接座之间连接设置有平衡轴，轴承的顶部与上方的存储架相连接。

作为本实用新型的进一步改进，对接插头沿着X轴正方向的一侧设置有两个联结轴，联结轴插接入晶圆丫叉沿着X轴负方向一侧的插接槽内。

作为本实用新型的进一步改进，插接槽的外侧沿着X轴方向设置有若干个分离顶针，分离顶针与外侧的夹持块相连接，插接槽的内侧沿着X轴方向设置有若干个锁紧卡扣。

作为本实用新型的进一步改进，锁紧卡扣的内侧设置有锁紧弹簧。

作为本实用新型的进一步改进，对接插头和晶圆丫叉插接处的位置还设置有风琴吸盘，对接插头内沿着X轴的正方向依次设置有相互连接的第一真空气道和第二真空气道，晶圆丫叉内沿着X轴的正方向依次设置有相互连接的第三真空气道和第四真空气道，风琴吸盘分别与两侧的第二真空气道和第三真空气道相连通。

作为本实用新型的进一步改进，平衡轴的外侧套设有平衡弹簧。

作为本实用新型的进一步改进，晶圆机械手上的驱动端设置有两个叉臂，晶圆丫叉存储库上沿着Z轴方向均匀的设置有六个存储架。

借由上述方案，本实用新型至少具有以下优点：

1、本实用新型通过双轴定位、双卡槽自锁和双弹簧实现常态锁紧，防止松脱，夹持兼顾解锁功能；

2、本实用新型通过双柔性支撑座实现柔性对接，提高自动对接更换的可靠性；