[实用新型]组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备

权利要求书

1.组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备，其特征在于，包括固定支撑系统、光学系统(4)、上振镜加工系统(5)和侧振镜加工系统(6)，所述固定支撑系统上设置有运动模组，所述固定支撑系统包括大理石底座(1)，所述大理石底座(1)沿着Y轴负方向的一侧设置有大理石横梁(3)，所述大理石横梁(3)沿着X轴方向设置且通过大理石立柱(2)安装在大理石底座(1)上，所述运动模组包括Y轴移动模组(8)、旋转模组(10)、第一X轴移动模组(12)、第一Z轴移动模组(13)、第二Z轴移动模组(14)和第二X轴移动模组(15)，所述Y轴移动模组(8)设置在大理石底座(1)上，所述Y轴移动模组(8)顶部的驱动端与上方的旋转模组(10)沿着Y轴方向驱动连接设置，所述旋转模组(10)顶部的驱动端与上方的吸附平台(11)驱动连接设置，所述大理石横梁(3)底部且靠近大理石横梁(3)沿着Y轴正方向一侧的大理石底座(1)上设置有第一X轴移动模组(12)，所述第一X轴移动模组(12)顶部的驱动端与上方的第二Z轴移动模组(14)沿着X轴方向驱动连接设置，所述第二Z轴移动模组(14)上的驱动端与侧振镜加工系统(6)沿着Z轴方向驱动连接设置，所述大理石横梁(3)上设置有第二X轴移动模组(15)，所述第二X轴移动模组(15)顶部的驱动端与光学系统(4)以及第一Z轴移动模组(13)沿着X轴方向驱动连接设置，所述第一Z轴移动模组(13)上的驱动端与上振镜加工系统(5)沿着Z轴方向驱动连接设置。

2.如权利要求1所述的组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备，其特征在于，所述光学系统(4)包括激光器(17)、若干个分光模组(18)、若干个光学上振镜(20)和若干个光学侧振镜(21)，所述激光器(17)通过若干个分光模组(18)、若干个光学上振镜(20)和若干个光学侧振镜(21)将激光分成两路的加工光束并分别进入到上振镜加工系统(5)和侧振镜加工系统(6)中。

3.如权利要求2所述的组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备，其特征在于，所述光学系统(4)还包括若干个光闸(19)。

4.如权利要求2所述的组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备，其特征在于，所述分光模组(18)包括电机架(22)、分光镜(24)和分光架(29)，所述电机架(22)和分光架(29)并列设置，所述电机架(22)上第一侧靠近底部的位置设置有伺服电机(23)，所述伺服电机(23)的驱动端与电机架(22)上第二侧靠近底部位置的主动轮(25)驱动连接设置，所述主动轮(25)通过皮带(26)与上方的从动轮(27)相连接，所述从动轮(27)与安装在分光架(29)上的分光镜(24)相连接。

5.如权利要求1所述的组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备，其特征在于，所述上振镜加工系统(5)包括上振镜支架(30)，所述上振镜支架(30)与第一Z轴移动模组(13)上的驱动端相连接，所述上振镜支架(30)上设置有第一反射镜(31)、上振镜(32)和上场镜(33)，所述上场镜(33)的底部设置有上振镜集尘盒(35)，所述上场镜(33)一侧的上振镜支架(30)上设置有定位CCD相机(40)。

6.如权利要求1所述的组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备，其特征在于，所述侧振镜加工系统(6)包括侧振镜支架(36)，所述侧振镜支架(36)与第二Z轴移动模组(14)上的驱动端相连接，所述侧振镜支架(36)上设置有第二反射镜(37)、侧振镜(38)和侧场镜(39)，所述侧场镜(39)上设置有侧振镜集尘盒(41)，所述侧场镜(39)一侧的侧振镜支架(36)上设置有校正影像CCD相机(34)。

7.如权利要求1所述的组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备，其特征在于，还包括检测系统(7)，所述运动模组还包括第三X轴移动模组(16)，所述第三X轴移动模组(16)设置在大理石横梁(3)沿着Y轴负方向的一侧，所述第三X轴移动模组(16)上的驱动端与检测系统(7)沿着X轴方向驱动连接设置。