[实用新型]组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备

说明书

本实用新型涉及一种组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备，包括固定支撑系统、光学系统、上振镜加工系统和侧振镜加工系统，固定支撑系统上设置有运动模组，固定支撑系统包括大理石底座，大理石底座沿着Y轴负方向的一侧设置有大理石横梁，大理石横梁沿着X轴方向设置且通过大理石立柱安装在大理石底座上。本实用新型光学系统的激光器经过分光模组分光进入垂直振镜和水平振镜，配合多轴组合运动平台，实现高精度三维立体空间的多面体微加工。

技术领域

本实用新型涉及显示器加工相关技术领域，尤其涉及一种组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备。

背景技术

电子信息产业是经济和社会高质量发展、数字化转型的关键性基础行业。是“十四五”规划加强原创性引领性科技攻关，旨在事关国家安全和发展全局的基础核心领域，制定实施战略性科学计划和科学工程。其中新型显示领域为重要一环。

新型显示领域中，Micro LED显示具有自发光、高效率、低功耗、高稳定等特性，是下一代主流显示技术的重要选择，在众多领域均有替代现有技术的潜力。Micro LED阵列可以达到超高密度像素并具备自发光的特性，相比OLED和LCD有更高的发光效率、更长的寿命和更高的亮度，同时具备轻薄、省电和全天候使用的优势，在显示领域将获得广泛应用。

传统导电银浆移印或线路丝网印刷，在精度以及密度上难以达到Micro LED高分辨率对线路的要求。市面上常见的三维刻蚀设备多使用五轴平台加带Z轴振镜来实现，造价成本较高，五轴运动精度较差，在应对高精度(加工精度达到正负1微米)的刻蚀要求，很难调出效果。

显示器的三面驱动线路激光雕刻工艺成为Micro LED工艺制程中不可或缺的一环，为了实现更高的像素密度、更小的显示器边框及拼接缝隙，要求显示器单位面积下的驱动线路更密集。通过激光雕刻三面线路的方式，可实现更高的驱动电路密度，同时通过三面雕刻拼接的方式，将驱动线路由显示面移动至显示背面，实现了极窄边框、极窄拼缝的显示方案。

有鉴于上述的缺陷，本设计人积极加以研究创新，以期创设一种组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备，使其更具有产业上的利用价值。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

组合式振镜三维激光刻蚀及检测设备，包括固定支撑系统、光学系统、上振镜加工系统和侧振镜加工系统，固定支撑系统上设置有运动模组，固定支撑系统包括大理石底座，大理石底座沿着Y轴负方向的一侧设置有大理石横梁，大理石横梁沿着X轴方向设置且通过大理石立柱安装在大理石底座上，运动模组包括Y轴移动模组、旋转模组、第一X轴移动模组、第一Z轴移动模组、第二Z轴移动模组和第二X轴移动模组，Y轴移动模组设置在大理石底座上，Y轴移动模组顶部的驱动端与上方的旋转模组沿着Y轴方向驱动连接设置，旋转模组顶部的驱动端与上方的吸附平台驱动连接设置，大理石横梁底部且靠近大理石横梁沿着Y轴正方向一侧的大理石底座上设置有第一X轴移动模组，第一X轴移动模组顶部的驱动端与上方的第二Z轴移动模组沿着X轴方向驱动连接设置，第二Z轴移动模组上的驱动端与侧振镜加工系统沿着Z轴方向驱动连接设置，大理石横梁上设置有第二X轴移动模组，第二X轴移动模组顶部的驱动端与光学系统以及第一Z轴移动模组沿着X轴方向驱动连接设置，第一Z轴移动模组上的驱动端与上振镜加工系统沿着Z轴方向驱动连接设置。

作为本实用新型的进一步改进，光学系统包括激光器、若干个分光模组、若干个光学上振镜和若干个光学侧振镜，激光器通过若干个分光模组、若干个光学上振镜和若干个光学侧振镜将激光分成两路的加工光束并分别进入到上振镜加工系统和侧振镜加工系统中。

作为本实用新型的进一步改进，光学系统还包括若干个光闸。