[实用新型]用于硅片减薄机的砂轮调节装置

权利要求书

1.用于硅片减薄机的砂轮调节装置，包括外箱(1)，其特征在于，所述外箱(1)的内顶部固定连接有电动伸缩杆(2)，所述电动伸缩杆(2)的一端固定连接有第一连接板(3)，所述第一连接板(3)的下端通过转动组件转动连接有第二连接板(6)，所述第二连接板(6)的底部固定连接有两组第二连接杆(7)，两组所述第二连接杆(7)的一端固定连接有第三连接板(8)，所述第三连接板(8)的顶部固定连接有两组驱动电机(801)，两组所述驱动电机(801)输出轴的一端通过联轴器均固定连接有转动轴(9)，两组所述转动轴(9)的一端分别固定连接有粗磨砂轮(10)和细磨砂轮(101)。

2.根据权利要求1所述的用于硅片减薄机的砂轮调节装置，其特征在于，所述转动组件包括有第一连接杆(5)和固定套(4)，所述固定套(4)的一端固定连接于第一连接板(3)的底部，所述第一连接杆(5)的一端贯穿固定套(4)转动连接于第一连接板(3)的底部，且第一连接杆(5)的另一端固定连接于第二连接板(6)的顶部，所述第一连接杆(5)的外壁上开设有限位孔。

3.根据权利要求2所述的用于硅片减薄机的砂轮调节装置，其特征在于，所述固定套(4)包括套筒和转动轮，所述转动轮的一侧设置有螺杆，所述螺杆的一端螺纹连接于套筒的外壁上，所述螺杆与限位孔呈对应设置。

4.根据权利要求1所述的用于硅片减薄机的砂轮调节装置，其特征在于，所述外箱(1)的内底部固定连接有安装支架(11)，所述安装支架(11)的顶部固定连接有防护圆盘(12)，所述防护圆盘(12)的一侧开设有凹槽，且凹槽的内底部固定连接有真空吸盘(13)。

5.根据权利要求4所述的用于硅片减薄机的砂轮调节装置，其特征在于，所述安装支架(11)的一侧设置有冷却回收组件，所述冷却回收组件包括有水箱(14)和水泵(16)，且水箱(14)和水泵(16)均固定连接于安装支架(11)的一侧，所述水泵(16)吸水端连通有吸水管(15)，且吸水管(15)的一端延伸至水箱(14)的内部，所述水泵(16)的输出端连通有出水管(17)，且出水管(17)的一端贯穿防护圆盘(12)并延伸至防护圆盘(12)的内部，所述安装支架(11)的内部设置有回收管(18)。

6.根据权利要求1所述的用于硅片减薄机的砂轮调节装置，其特征在于，所述外箱(1)的一侧通过合页固定连接有箱门(19)，所述箱门(19)通过搭扣进行锁紧固定。