[实用新型]单面抛光设备有效

专利信息
申请号: 202221995244.4 申请日: 2022-07-29
公开(公告)号: CN218194446U 公开(公告)日: 2023-01-03
发明(设计)人: 邵晓东 申请(专利权)人: 徐州鑫晶半导体科技有限公司
主分类号: B24B29/02 分类号: B24B29/02;B24B55/00;H01L21/67;H01L21/677
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 221000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 单面 抛光 设备
【权利要求书】:

1.一种单面抛光设备,其特征在于,包括:

机体;

旋转台,所述旋转台设于所述机体上,所述旋转台具有清洗池,所述清洗池内设有用于带动陶瓷块转动的旋转轴,所述清洗池的一侧设有喷液元件和刷洗元件;

加热模块,所述加热模块设于所述机体,所述加热模块位于所述清洗池的背离所述喷液元件和所述刷洗元件的一侧;

机械手臂,所述机械手臂的一端可转动地设置于所述机体,所述机械手臂的另一端设有适于夹持所述陶瓷块的夹爪,所述机械手臂用于在所述旋转台和所述加热模块之间移载所述陶瓷块;

挡液板,所述挡液板设于所述清洗池和所述加热模块之间,所述挡液板用于防止所述清洗池内的液体溅入所述加热模块内。

2.根据权利要求1所述的单面抛光设备,其特征在于,所述挡液板包括板体和翻边部,所述板体沿所述清洗池的周向延伸成弧形,所述翻边部的一端与所述板体的底部相连,所述翻边部的另一端向外延伸,螺纹紧固件穿过所述翻边部与所述旋转台的相连。

3.根据权利要求2所述的单面抛光设备,其特征在于,所述机械手臂还设有移动吸盘,所述板体设有适于避让所述移动吸盘的避让口。

4.根据权利要求2所述的单面抛光设备,其特征在于,所述板体形成为弧形板,所述板体的形状与所述旋转台的外轮廓相适配,所述翻边部设有连接孔,所述连接孔在所述旋转台的周向上延伸成条状,螺纹紧固件穿过所述连接孔与所述机体相连。

5.根据权利要求2所述的单面抛光设备,其特征在于,所述挡液板的高度为160mm-200mm。

6.根据权利要求2所述的单面抛光设备,其特征在于,所述挡液板为透明件。

7.根据权利要求2所述的单面抛光设备,其特征在于,所述翻边部和所述板体为一体件。

8.根据权利要求1-7中任一项所述的单面抛光设备,其特征在于,还包括:

清洗盘,所述清洗盘设于所述机体且位于所述夹爪的转动轨迹上,所述清洗盘限定出容纳腔,所述容纳腔的底部设有设有喷淋管,所述喷淋管用于向上喷淋纯水;

接水盘,所述接水盘形成为开环形,所述接水盘卡接在所述清洗盘的底部,所述接水盘的顶部具有接水槽。

9.根据权利要求8所述的单面抛光设备,其特征在于,所述接水盘的底部设有与所述接水槽连通的排水孔,所述排水孔通过排水管与废水池连通。

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