[实用新型]一种PECVD镀膜特气管路有效
| 申请号： | 202222023938.8 | 申请日： | 2022-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN218203047U | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 刘银生;刘闯;滕三月 | 申请（专利权）人： | 江苏润阳悦达光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/455 | 分类号： | C23C16/455 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 224000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 pecvd 镀膜 管路 | ||
【权利要求书】：
1.一种PECVD镀膜特气管路，其特征在于：包括进气管和连接在进气管一端的球头喷嘴，进气管为长直管，球头喷嘴内部空心为容纳腔，球头喷嘴表面开有若干孔洞，球头喷嘴与进气管之间具有夹角。
2.根据权利要求1所述的PECVD镀膜特气管路，其特征在于，所述球头喷嘴与进气管之间具有夹角为90°-180°。
3.根据权利要求1所述的PECVD镀膜特气管路，其特征在于，球头喷嘴上平方毫米单位内分布1-3个大小相同的孔洞。
4.根据权利要求3所述的PECVD镀膜特气管路，其特征在于，所述孔洞直径0.5mm-1.5mm。
5.根据权利要求1或3或4所述的PECVD镀膜特气管路，其特征在于，所述球头喷嘴的球体直径20mm-50mm。
6.根据权利要求1所述的PECVD镀膜特气管路，其特征在于，所述进气管和球头喷嘴为石英材质。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
