[实用新型]一种PECVD镀膜特气管路

说明书

本实用新型提供一种PECVD镀膜特气管路，包括进气管和连接在进气管一端的球头喷嘴，进气管为长直管，球头喷嘴内部空心为容纳腔，球头喷嘴表面均匀开有孔洞，球头喷嘴与进气管之间具有夹角。通过对特气管路出气结构优化改善PECVD炉口镀膜均匀性，提升太阳能电池品质。

技术领域

本实用新型属于太阳能电池制造领域，具体涉及一种PECVD镀膜特气管路。

背景技术

在太阳能电池生产镀膜工艺中采用沉积 SiNx 薄膜作为太阳能电池的前表面钝化和减反射薄膜，从而提高电池的转换效率，沉积 SiNx 薄膜通常采用管式PECVD， 反应气体通过特气管路从管式 PECVD炉管的炉口处进入炉管参与反应，现有一般使用的特气管路为Y型特气管，如专利202022643742X中的Y型特气管，Y型特气管的“V”字喷气头部深入炉管内紧贴炉口下管壁，如图2，该结构的特气管在气体进入炉管的一瞬间流速太大会造成石墨舟炉口位置掉片，而且流动气体进入炉管后由于真空泵的吸力，无法在炉口位置充分扩散开，就被快速抽离，沿着管壁中下部涌向炉尾，同时存在边界层因素，靠近管壁处气体分子被管壁造成黏滞作用拖拽，气体流速降低，越靠近炉管中心处，气体流速越大，气体的流速不均，产生对流使气体分布不均，沉积薄膜的速率不同，造成沉积薄膜的均匀性变差，镀膜薄厚不均，从而影响薄膜的减反射效果和电池外观。

发明内容

鉴于以上，本实用新型提供一种PECVD镀膜特气管路，通过结构优化改善PECVD炉口镀膜均匀性，提升太阳能电池品质。具体技术方案如下。

一种PECVD镀膜特气管路，其特征在于：包括进气管和连接在进气管一端的球头喷嘴，进气管为长直管，球头喷嘴内部空心为容纳腔，球头喷嘴表面开有若干孔洞，球头喷嘴与进气管之间具有夹角。

进一步，所述球头喷嘴与进气管之间具有夹角为90°-180°。

进一步，球头喷嘴上平方毫米单位内分布1-3个大小相同的孔洞。

进一步，所述孔洞直径0.5mm-1.5mm。

进一步，所述球头喷嘴的球体直径20mm-50mm。

进一步，所述进气管和球头喷嘴为石英材质。

有益效果：与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：

（一）镀膜均匀性好：本实用新型通过球型喷嘴替换传统的Y型喷嘴，反应气体在进入炉管前，可以在球型嘴内腔先初步均匀混合，再由球头喷嘴上的全方位分布的孔洞喷出，球头喷嘴与进气管之间设置夹角，这样气体在炉口位置得到充分扩散开，令炉管内气体涌向炉尾的过程中有效均匀分布，从而改善PECVD炉口镀膜均匀性，提升太阳能电池品质；（二）由球头喷嘴上的孔洞喷出的混合特气，出气孔多且孔洞遍布球身各处，可以有效的减缓出气孔处的喷力，从而有效避免炉口部位气流太大导致的石墨舟掉片问题，降低返工和碎片率，实现生产成本的降低。

本实用新型附加的方面和优点将在下面的描述中进一步给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1所示为现有技术Y型特气管路的使用配置示意图：

图2所示为本实用新型特气管路的使用配置示意图：

图3所示为本实用新型特气管路的球头喷嘴的整体结构示意图：

其中，1-PECVD炉管，2-炉口，3-炉尾，4-进气管，5-球头喷嘴，6-孔洞，7-石墨舟,111-Y型特气管。

具体实施方式

下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能解释为对本实用新型的限制。