[实用新型]一种适用于固晶机的扩片台

权利要求书

1.一种适用于固晶机的扩片台，包括设备主体(1)，其特征在于：所述设备主体(1)包括：

底座(2)，所述底座(2)设置于固晶机的外固定面上；

用于对晶圆片进行转动上料的转动上料机构(3)，所述转动上料机构(3)设置于底座(2)的顶端左侧；

用于辅助转动上料机构(3)对晶圆片进行固定的辅助机构(5)，所述辅助机构(5)设置于底座(2)的顶端右侧；以及

用于对晶圆片进行扩片的扩展组件(4)，所述扩展组件(4)设置于底座(2)的顶端中间位置。

2.根据权利要求1所述的一种适用于固晶机的扩片台，其特征在于：所述转动上料机构(3)包括电动转台(31)，所述电动转台(31)设置于底座(2)的顶端左侧，所述电动转台(31)的顶端设置有操作台(32)，所述操作台(32)上设置有穿孔(321)，所述穿孔(321)贯穿操作台(32)的上下两端，所述操作台(32)的顶端右侧设置有信号接收器(35)。

3.根据权利要求2所述的一种适用于固晶机的扩片台，其特征在于：所述电动转台(31)的输出端向上设置有转动架(33)，所述转动架(33)包括转轴(331)，所述转轴(331)穿过操作台(32)延伸至其上方，所述转轴(331)的外侧沿圆周均匀设置有多组延伸架(332)。

4.根据权利要求3所述的一种适用于固晶机的扩片台，其特征在于：所述延伸架(332)远离转轴(331)的一端设置有摆放架(34)，所述摆放架(34)包括摆放环(341)，所述摆放环(341)固定连接于延伸架(332)远离转轴(331)的一端，所述摆放环(341)的内径小于晶圆片上蓝膜的直径，所述摆放环(341)的顶端设置有接触环(342)，所述摆放环(341)的外侧设置有信号发出器(343)，所述信号发出器(343)与信号接收器(35)互相适配。

5.根据权利要求4所述的一种适用于固晶机的扩片台，其特征在于：所述接触环(342)的材质为聚氨酯，所述接触环(342)热熔胶合固定连接于摆放环(341)的顶端。

6.根据权利要求5所述的一种适用于固晶机的扩片台，其特征在于：所述辅助机构(5)包括下降驱动件(51)，所述下降驱动件(51)包括下降缸(511)，所述下降缸(511)设置于底座(2)的顶端右侧，所述下降缸(511)的输出端向上设置有下降杆(512)，所述下降杆(512)的顶端向左设置有延伸杆(513)，所述延伸杆(513)的左端设置有压紧件(52)，所述压紧件(52)包括固定连接于延伸杆(513)左端的压紧环(521)，所述压紧环(521)与摆放环(341)相互对应，所述压紧环(521)的底端设置有压紧垫(522)。

7.根据权利要求6所述的一种适用于固晶机的扩片台，其特征在于：所述压紧垫(522)的材质为聚氨酯，所述压紧垫(522)热熔胶合固定连接于压紧环(521)的底端。

8.根据权利要求7所述的一种适用于固晶机的扩片台，其特征在于：所述扩展组件(4)包括上升驱动件(41)，所述上升驱动件(41)包括上升缸(411)，所述上升缸(411)固定连接于底座(2)的顶端中间位置，所述上升缸(411)的输出端向上设置有上升推杆(412)，所述上升推杆(412)的顶端设置有扩展件(42)，所述扩展件(42)包括固定连接于上升推杆(412)顶端的扩展块(421)，所述扩展块(421)的直径与摆放环(341)的内径相等，所述扩展块(421)的顶端外侧设置有圆弧边(4211)。