[实用新型]一种用于外点火形式扩散炉的DCE进气结构有效
| 申请号： | 202222027635.3 | 申请日： | 2022-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN217709769U | 公开（公告）日： | 2022-11-01 |
| 发明（设计）人： | 周炳 | 申请（专利权）人： | 张家港意发功率半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16 |
| 代理公司： | 苏州启华专利代理事务所(普通合伙) 32357 | 代理人： | 徐伟华 |
| 地址： | 215600 江苏省苏州市张家港市经济技*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 点火 形式 扩散 dce 结构 | ||
1.一种用于外点火形式扩散炉的DCE进气结构，其特征在于，包括：O2源、N2源、DCE源、三通管接头、点火枪和炉管，所述三通管接头含有相互连通的第一端口、第二端口和第三端口，所述O2源与第一端口之间设置有第一气路，所述第二端口与点火枪的一个进气口之间设置有第二气路，所述DCE源的出气口与第三端口之间设置有第三气路，所述N2源与点火枪的另一进气口之间设置有第四气路，所述点火枪的输出端与炉管相连接，所述N2源与DCE源的进气口之间设置有第五气路，所述第一气路上设置有第一气动阀，所述第四气路上设置有第二气动阀，所述第五气路上设置有第三气动阀。
2.根据权利要求1所述的用于外点火形式扩散炉的DCE进气结构，其特征在于，还包括DCE源温度控制箱，所述DCE源设置在DCE源温度控制箱中。
3.根据权利要求1所述的用于外点火形式扩散炉的DCE进气结构，其特征在于，所述DCE源温度控制箱中设置有与第五气路相连接的DCE鼓泡装置。
4.根据权利要求1所述的用于外点火形式扩散炉的DCE进气结构，其特征在于，所述第一气路上设置有第一流量计，所述第四气路上设置有第二流量计，所述第五气路上设置有第三流量计。
5.根据权利要求1所述的用于外点火形式扩散炉的DCE进气结构，其特征在于，所述第一气路上设置有第一单向阀。
6.根据权利要求1所述的用于外点火形式扩散炉的DCE进气结构，其特征在于，所述第五气路上设置有第二单向阀。
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