[实用新型]一种用于外点火形式扩散炉的DCE进气结构

说明书

本实用新型公开了一种用于外点火形式扩散炉的DCE进气结构，其包括：O₂源、N₂源、DCE源、三通管接头、点火枪和炉管，所述三通管接头含有相互连通的第一端口、第二端口和第三端口，所述O₂源与第一端口之间设置有第一气路，所述第二端口与点火枪的一个进气口之间设置有第二气路，所述DCE源的出气口与第三端口之间设置有第三气路，所述N₂源与点火枪的另一进气口之间设置有第四气路，所述点火枪的输出端与炉管相连接，所述N₂源与DCE源的进气口之间设置有第五气路，所述第一气路上设置有第一气动阀，所述第四气路上设置有第二气动阀，所述第五气路上设置有第三气动阀，让小流量的N₂先进入DCE源，置换出DCE，进行DCE和O₂的提前混合，减少碳化现象。

技术领域

本实用新型涉及扩散炉设备领域，尤其涉及一种用于外点火形式扩散炉的DCE进气结构。

背景技术

在半导体生产线中，扩散炉是重要工艺设备之一。扩散炉可以在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，建立不同的电特性区域。

扩散炉需要O₂与DCE（二氯乙烯）的混合进行燃烧，但是由于DCE往往直接进入高温的炉管，在炉管内来不及和O₂充分混合，容易发生碳化现象，造成炉管的沾污，降低半导体的品质，而且炉管沾污后难以清理维护，增加了生产的成本，需要进行改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于外点火形式扩散炉的DCE进气结构，实现DCE与O₂提前混合，减少碳化现象。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种用于外点火形式扩散炉的DCE进气结构，包括：O₂源、N₂源、DCE源、三通管接头、点火枪和炉管，所述三通管接头含有相互连通的第一端口、第二端口和第三端口，所述O₂源与第一端口之间设置有第一气路，所述第二端口与点火枪的一个进气口之间设置有第二气路，所述DCE源的出气口与第三端口之间设置有第三气路，所述N₂源与点火枪的另一进气口之间设置有第四气路，所述点火枪的输出端与炉管相连接，所述N₂源与DCE源的进气口之间设置有第五气路，所述第一气路上设置有第一气动阀，所述第四气路上设置有第二气动阀，所述第五气路上设置有第三气动阀。

其中，还包括DCE源温度控制箱，所述DCE源设置在DCE源温度控制箱中。

其中，所述DCE源温度控制箱中设置有与第五气路相连接的DCE鼓泡装置。

其中，所述第一气路上设置有第一流量计，所述第四气路上设置有第二流量计，所述第五气路上设置有第三流量计。

其中，所述第一气路上设置有第一单向阀。

其中，所述第五气路上设置有第二单向阀。

本实用新型的有益效果：一种用于外点火形式扩散炉的DCE进气结构，特别设计了第五气路和三通管接头，让小流量的N₂先进入DCE源，置换出DCE，并通过三通管接头进行DCE和O₂的提前混合，提升混合均匀性，进入高温的炉管后减少碳化现象。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合图1并通过具体实施例来进一步说明本实用新型的技术方案。