[实用新型]一种用于气体分配盘的C型件

权利要求书

1.一种用于气体分配盘的C型件，其特征在于，所述C型件包括C型主体以及设置于所述C型主体的上下两表面之间，且从所述C型主体的内壁面及左右端面露出的C型空腔；所述C型空腔使所述C型主体的内部分别形成腔体内上表面，腔体内下表面及腔体内壁面；

所述C型件还包括设置于所述C型主体的上表面的中部，且延伸至所述C型主体的左右端面的C型壁，以及分别位于所述C型壁的壁内一侧及壁外一侧的第一贯通孔及第二贯通孔。

2.根据权利要求1所述的用于气体分配盘的C型件，其特征在于，所述第一贯通孔开设于所述C型主体的上表面，并延伸至所述腔体内上表面。

3.根据权利要求1所述的用于气体分配盘的C型件，其特征在于，所述第二贯通孔开设于所述C型主体的上表面，并延伸至所述腔体内下表面。

4.根据权利要求1所述的用于气体分配盘的C型件，其特征在于，所述腔体内壁面设置有与所述第二贯通孔对应的弧形槽，所述弧形槽对应的圆与所述第二贯通孔的直径相等且圆心的正投影重叠。

5.根据权利要求1所述的用于气体分配盘的C型件，其特征在于，所述腔体下表面设置有与所述第二贯通孔对应的圆锥形槽，所述圆锥形槽的开口与所述第二贯通孔的直径相等且圆心的正投影重叠。

6.根据权利要求1所述的用于气体分配盘的C型件，其特征在于，所述C型壁上设置有至少一个缺口，所述缺口朝外延伸至所述C型主体的外壁。

7.根据权利要求6所述的用于气体分配盘的C型件，其特征在于，所述缺口处的所述C型主体的上表面不设置所述第二贯通孔。