[实用新型]一种引导碳化硅气相气体流向的石墨片结构

权利要求书

1.一种引导碳化硅气相气体流向的石墨片结构，其特征在于，包括同心设置的外环架(1)和内环架(2)，所述外环架(1)和所述内环架(2)的夹持区间内环形阵列安装有若干个石墨片(3)，相邻的所述石墨片(3)之间留置有通气槽；

挡片机构包括开设缺口的出气挡片(5)和进气挡片(6)，所述出气挡片(5)和所述进气挡片(6)分别贴附所述石墨片(3)的上下表面，两者的中部连接有贯穿所述内环架(2)的转轴(4)，所述出气挡片(5)和所述进气挡片(6)与所述转轴(4)同步转动。

2.根据权利要求1所述的一种引导碳化硅气相气体流向的石墨片结构，其特征在于，所述转轴(4)的另一端连接至伺服电机(7)的输出端。

3.根据权利要求1所述的一种引导碳化硅气相气体流向的石墨片结构，其特征在于，所述石墨片(3)的侧壁为“倾斜”机构，通气槽两端开口沿气体流向逐渐缩小。

4.根据权利要求3所述的一种引导碳化硅气相气体流向的石墨片结构，其特征在于，所述出气挡片(5)上的缺口与通气槽顶部开口规格相匹配。

5.根据权利要求4所述的一种引导碳化硅气相气体流向的石墨片结构，其特征在于，所述进气挡片(6)上的缺口与通气槽底部开口规格相匹配。

6.根据权利要求1所述的一种引导碳化硅气相气体流向的石墨片结构，其特征在于，所述外环架(1)上设置有安装机构。

7.根据权利要求6所述的一种引导碳化硅气相气体流向的石墨片结构，其特征在于，安装机构包括安装在所述外环架(1)顶部的安装环(81)，所述安装环(81)的外周成型有开设螺孔的栓片(82)。