[实用新型]一种晶粒自动分选装置有效
申请号: | 202222108103.2 | 申请日: | 2022-08-11 |
公开(公告)号: | CN218797447U | 公开(公告)日: | 2023-04-07 |
发明(设计)人: | 刘兴礼 | 申请(专利权)人: | 上海福赛特机器人股份有限公司 |
主分类号: | B07C5/34 | 分类号: | B07C5/34;B07C5/02;B07C5/36;B07C5/38 |
代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人: | 徐琳;尹一凡 |
地址: | 201702 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶粒 自动 分选 装置 | ||
1.一种晶粒自动分选装置,其特征在于,包括:
母膜模组,包括母膜固定组件,所述母膜固定组件用于固定母膜,所述母膜中设置有待搬运的晶粒;
子膜模组,包括子膜固定组件,所述子膜固定组件用于固定子膜,所述子膜用于接收搬运的晶粒;
搬运模组,用于将母膜中同一类型的晶粒搬运至同一个子膜中;
相机模组,用于对母膜进行扫描,并将扫描结果传输至控制模组;
控制模组,通讯连通搬运模组和相机模组,用于根据相机模组的扫描结果控制搬运组件进行晶粒搬运。
2.根据权利要求1所述的一种晶粒自动分选装置,其特征在于,所述母膜模组还包括母膜移动组件,所述母膜移动组件连接母膜固定组件,所述母膜移动组件能够带动母膜固定组件在三维空间进行移动。
3.根据权利要求2所述的一种晶粒自动分选装置,其特征在于,所述母膜模组还包括顶针,所述顶针连接控制模组,所述顶针和搬运模组分别位于所述母膜固定组件的两端。
4.根据权利要求1所述的一种晶粒自动分选装置,其特征在于,所述子膜模组还包括子膜移动组件,所述子膜移动组件连接子膜固定组件,所述子膜移动组件能够带动子膜固定组件在三维空间进行移动。
5.根据权利要求1所述的一种晶粒自动分选装置,其特征在于,所述母膜固定组件中的母膜与子膜固定组件中的子膜平行设置。
6.根据权利要求1所述的一种晶粒自动分选装置,其特征在于,还包括用于放置母膜的母膜存储组件和用于放置子膜的子膜存储组件。
7.根据权利要求6所述的一种晶粒自动分选装置,其特征在于,还包括机械手臂,所述机械手臂连接控制模组,所述机械手臂用于将母膜取出或者放入母膜存储组件,所述机械手臂用于将子膜取出或者放入子膜存储组件。
8.根据权利要求7所述的一种晶粒自动分选装置,其特征在于,所述机械手臂设置有扫描器,所述母膜和子膜中设置有识别标记。
9.根据权利要求1所述的一种晶粒自动分选装置,其特征在于,所述相机模组包括两个相机,两个相机的视野范围分别对应母膜固定组件中的母膜和子膜固定组件中的子膜。
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