[实用新型]一种晶粒自动分选装置有效
申请号: | 202222108103.2 | 申请日: | 2022-08-11 |
公开(公告)号: | CN218797447U | 公开(公告)日: | 2023-04-07 |
发明(设计)人: | 刘兴礼 | 申请(专利权)人: | 上海福赛特机器人股份有限公司 |
主分类号: | B07C5/34 | 分类号: | B07C5/34;B07C5/02;B07C5/36;B07C5/38 |
代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人: | 徐琳;尹一凡 |
地址: | 201702 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶粒 自动 分选 装置 | ||
本实用新型公开了一种晶粒自动分选装置,包括:母膜模组,包括母膜固定组件,所述母膜固定组件用于固定母膜,所述母膜中设置有待搬运的晶粒;子膜模组,包括子膜固定组件,所述子膜固定组件用于固定子膜,所述子膜用于接收搬运的晶粒;搬运模组,用于将母膜中同一类型的晶粒搬运至同一个子膜中;相机模组,用于对母膜进行扫描,并将扫描结果传输至控制模组;控制模组,通讯连通搬运模组和相机模组,用于根据相机模组的扫描结果控制搬运组件进行晶粒搬运。本申请提供的一种晶粒自动分选装置,能够实现母膜中晶粒的自动扫描分类,同时通过搬运模组实现晶粒的分选搬运,实现了晶粒的自动分选搬运,提高了晶粒分选的效率和准确性。
技术领域
本实用新型涉及晶粒分类领域,尤其涉及一种晶粒自动分选装置。
背景技术
随着LED技术不断更新换代,生产中对LED的需求和品质要求更高,同时也对LED晶粒的品质提出了更高的要求。其中在LED晶圆的加工中,需要将晶圆切割成多个晶粒,并且切割后的晶粒需要进行光电参数测定,并且据此将晶粒进行分类,此时需要通过一种分选装置对晶粒进行分类工作,并将同一种类型的晶粒放置在同一个子膜中。目前还没有分选机构能够实现晶粒的自动分类,严重影响了晶粒分类的效率。
实用新型内容
本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的问题之一。为此,本实用新型的目的在于提供一种晶粒自动分选装置,能够实现母膜中晶粒的自动扫描分类,同时通过搬运模组实现晶粒的分选搬运,实现了晶粒的自动分选搬运,提高了晶粒分选的效率和准确性。
为了实现上述目的,本申请采用如下技术方案:一种晶粒自动分选装置,包括:
母膜模组,包括母膜固定组件,所述母膜固定组件用于固定母膜,所述母膜中设置有待搬运的晶粒;
子膜模组,包括子膜固定组件,所述子膜固定组件用于固定子膜,所述子膜用于接收搬运的晶粒;
搬运模组,用于将母膜中同一类型的晶粒搬运至同一个子膜中;
相机模组,用于对母膜进行扫描,并将扫描结果传输至控制模组;
控制模组,通讯连通搬运模组和相机模组,用于根据相机模组的扫描结果控制搬运组件进行晶粒搬运。
进一步的,所述母膜模组还包括母膜移动组件,所述母膜移动组件连接母膜固定组件,所述母膜移动组件能够带动母膜固定组件在三维空间进行移动。
进一步的,所述母膜模组还包括顶针,所述顶针连接控制模组,所述顶针和搬运模组分别位于所述母膜固定组件的两端。
进一步的,所述子膜模组还包括子膜移动组件,所述子膜移动组件连接子膜固定组件,所述子膜移动组件能够带动子膜固定组件在三维空间进行移动。
进一步的,所述母膜固定组件中的母膜与子膜固定组件中的子膜平行设置。
进一步的,还包括用于放置母膜的母膜存储组件和用于放置子膜的子膜存储组件。
进一步的,还包括机械手臂,所述机械手臂连接控制模组,所述机械手臂用于将母膜取出或者放入母膜存储组件,所述机械手臂用于将子膜取出或者放入子膜存储组件。
进一步的,所述机械手臂设置有扫描器,所述母膜和子膜中设置有识别标记。
进一步的,所述相机模组包括两个相机,两个相机的视野范围分别对应母膜固定组件中的母膜和子膜固定组件中的子膜。
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