[实用新型]一种具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置

权利要求书

1.一种具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置，包括装置基座(1)，其正上方螺栓固定有检测箱体(2)，且检测箱体(2)的上表面胶合连接有LED屏幕(3)，所述LED屏幕(3)的左右两侧电线连接有光纤光谱仪(4)，其特征在于：还包括：

检测机构(5)，其嵌套固定在检测箱体(2)的左侧，且检测箱体(2)的右侧嵌套连接有储料机构(6)，所述检测机构(5)的正下方轴连接有辅助滚轮(7)；

薄膜样品(8)，其设置在储料机构(6)的内部，横向导杆(9)，其焊接固定在检测箱体(2)的内部，且检测箱体(2)的内壁螺栓固定有横向基板(10)，所述横向导杆(9)的外侧嵌套连接有储料机构(6)。

2.根据权利要求1所述的一种具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置，其特征在于：所述检测箱体(2)与储料机构(6)相互平行，且检测箱体(2)的左右两侧采用矩形开口式结构，并且检测箱体(2)与横向导杆(9)焊接为一体式结构。

3.根据权利要求1所述的一种具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置，其特征在于：所述检测机构(5)的内部包括有控制手柄(51)和a矩形导槽(55)，

控制手柄(51)，其焊接固定在检测机构(5)左侧，调校轴(52)，其嵌套固定在横向托板(53)左侧，且横向托板(53)的右侧轴连接有调校转盘(57)；

a矩形导槽(55)，其贯穿开设在横向托板(53)上表面，且a矩形导槽(55)的外侧嵌套连接有圆形导块(54)，所述圆形导块(54)的外侧嵌套连接有激光发射头(56)。

4.根据权利要求3所述的一种具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置，其特征在于：所述激光发射头(56)与圆形导块(54)通过a矩形导槽(55)和横向托板(53)构成滑动结构，且激光发射头(56)与圆形导块(54)的数量为3组，并且圆形导块(54)和a矩形导槽(55)为相互贴合。

5.根据权利要求1所述的一种具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置，其特征在于：所述储料机构(6)的内部包括有伸缩气缸(61)和横向夹持条(63)；

伸缩气缸(61)，其输出端螺栓固定有夹持面板(62)，且夹持面板(62)的上表面开设有膜插槽(66)，所述夹持面板(62)的正下方螺栓固定有辅助滑块(67)；

横向夹持条(63)，其上表面胶合连接有橡胶条(64)，储料机构(6)，其上表面开设有b矩形导槽(65)，且b矩形导槽(65)的内部嵌套连接有辅助滑块(67)。

6.根据权利要求5所述的一种具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置，其特征在于：所述橡胶条(64)等间距设置在横向夹持条(63)外侧，且橡胶条(64)的纵截面为“U”字型结构，并且橡胶条(64)与膜插槽(66)相互平行，而且膜插槽(66)的宽度为夹持面板(62)宽度一半。