[实用新型]一种具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置

说明书

本实用新型公开了一种具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置，包括装置基座，其正上方螺栓固定有检测箱体，且检测箱体的上表面胶合连接有LED屏幕，所述LED屏幕的左右两侧电线连接有光纤光谱仪，还包括：检测机构，其嵌套固定在检测箱体的左侧，且检测箱体的右侧嵌套连接有储料机构，所述检测机构的正下方轴连接有辅助滚轮；薄膜样品，其设置在储料机构的内部，且检测箱体的内壁螺栓固定有横向基板，所述横向导杆的外侧嵌套连接有储料机构。该具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置，设置有横向夹持条及夹持面板，一方面夹持面板通过外侧的膜插槽对膜体的其中一侧进行卡合定位，避免膜体在照射及厚度测量时发生晃动情况。

技术领域

本实用新型涉及光学薄膜技术领域，具体为一种具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置。

背景技术

光学薄膜是附著在光学元件表面的介质薄膜，基于薄膜内光的干涉效应来改变透射光或反射光的光强，光学薄膜的厚度对其本身性能以及应用效果有着很大的影响，所以需要装置对光学薄膜厚度进行检测。

薄膜厚度检测装置在使用过程中，虽然现有的光学薄膜厚度测量方法有很多，但是非光学的方法会对样品造成损伤，许多光学的方法操作方法复杂，测量受到诸多条件限制，在使用过程中，主要对激光发射头与薄膜样品相互对齐，但薄膜样品本身为柔性材质，在检测的过程中，会因为膜体的表面受到挤压力，会造成膜体的内部发生弯曲情况，导致激光发射头发射的激光进入到膜体的内部，会导致激光信号本身发生扭曲情况，导致膜体测量的信号误差增加。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置，以解决上述背景技术中提出膜样品本身为柔性材质，在检测的过程中，会因为膜体的表面受到挤压力，会造成膜体的内部发生弯曲情况，导致激光发射头发射的激光进入到膜体的内部，会导致激光信号本身发生扭曲情况，导致膜体测量的信号误差增加的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有限位结构的光学薄膜厚度检测装置，包括装置基座，其正上方螺栓固定有检测箱体，且检测箱体的上表面胶合连接有LED屏幕，所述LED屏幕的左右两侧电线连接有光纤光谱仪，还包括：检测机构，其嵌套固定在检测箱体的左侧，且检测箱体的右侧嵌套连接有储料机构，所述检测机构的正下方轴连接有辅助滚轮；薄膜样品，其设置在储料机构的内部，横向导杆，其焊接固定在检测箱体的内部，且检测箱体的内壁螺栓固定有横向基板，所述横向导杆的外侧嵌套连接有储料机构。

优选的，所述检测箱体与储料机构相互平行，且检测箱体的左右两侧采用矩形开口式结构，并且检测箱体与横向导杆焊接为一体式结构，通过储料机构在检测箱体内部进行滑动，对发射激光的距离进行调节。

优选的，所述检测机构的内部包括有控制手柄和a矩形导槽，控制手柄，其焊接固定在检测机构左侧，调校轴，其嵌套固定在横向托板左侧，且横向托板的右侧轴连接有调校转盘；a矩形导槽，其贯穿开设在横向托板上表面，且a矩形导槽的外侧嵌套连接有圆形导块，所述圆形导块的外侧嵌套连接有激光发射头。

优选的，所述激光发射头与圆形导块通过a矩形导槽和横向托板构成滑动结构，且激光发射头与圆形导块的数量为3组，并且圆形导块和a矩形导槽为相互贴合，使得激光发射头与薄膜样品对齐，使得激光直接射入薄膜样品的内部。

优选的，所述储料机构的内部包括有伸缩气缸和横向夹持条；伸缩气缸，其输出端螺栓固定有夹持面板，且夹持面板的上表面开设有膜插槽，所述夹持面板的正下方螺栓固定有辅助滑块；横向夹持条，其上表面胶合连接有橡胶条，储料机构，其上表面开设有b矩形导槽，且b矩形导槽的内部嵌套连接有辅助滑块。

优选的，所述橡胶条等间距设置在横向夹持条外侧，且橡胶条的纵截面为“U”字型结构，并且橡胶条与膜插槽相互平行，而且膜插槽的宽度为夹持面板宽度一半，通过膜插槽对不同宽度的薄膜样品进行定位处理。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：