[实用新型]一种拼接式硅舟

权利要求书

1.一种拼接式硅舟，其特征在于，包括两个相对设置的支板(a1)以及均位于两个支板(a1)之间的左齿棒(a2)、右齿棒(a3)和至少一个限位齿棒(a4)，两个所述支板(a1)的外环侧面的左前侧、右前侧和后侧分别设有若干与所述左齿棒(a2)、右齿棒(a3)和限位齿棒(a4)的端部相卡接的凹嵌部，所述凹嵌部呈凹状地分布于两个所述支板(a1)的外环侧面，所述凹嵌部设有紧定孔(a11)，所述左齿棒(a2)、右齿棒(a3)和限位齿棒(a4)的端部均设有连接至紧定孔(a11)的紧固件(a5)，所述左齿棒(a2)和右齿棒(a3)的相对侧分别设有若干沿长边方向分布的用于供晶圆穿过的搁槽(a21)，所述搁槽(a21)设有用于支撑晶圆的搁置部(a22)，所述限位齿棒(a4)设有若干与所述搁槽(a21)逐个对应的用于支撑晶圆的限位槽(a41)。

2.根据权利要求1所述的一种拼接式硅舟，其特征在于，所述左齿棒(a2)、右齿棒(a3)和限位齿棒(a4)的端部均设有安装孔(a44)，所述紧固件(a5)为螺栓且连接于所述安装孔(a44)。

3.根据权利要求2所述的一种拼接式硅舟，其特征在于，所述凹嵌部为贯穿所述支板(a1)的两端面的凹状通槽(a12)，所述左齿棒(a2)、右齿棒(a3)和限位齿棒(a4)的端部均卡接至所述凹状通槽(a12)，所述安装孔(a44)和紧定孔(a11)均相对所述支板(a1)的径向设置。

4.根据权利要求3所述的一种拼接式硅舟，其特征在于，所述支板(a1)的后侧的外环侧面的凹状通槽(a12)为两个且均为锥形，所述限位齿棒(a4)为两个，且两个限位齿棒(a4)的端部的横截面均为锥形。

5.根据权利要求2所述的一种拼接式硅舟，其特征在于，所述左齿棒(a2)、右齿棒(a3)和限位齿棒(a4)的端部的侧面均设有条状横槽(a42)，所述凹嵌部为贯穿所述支板(a1)的两端面的凹状卡槽(a13)，所述凹状卡槽(a13)的中部设有插接至所述条状横槽(a42)的插片(a131)，所述安装孔(a44)和紧定孔(a11)均相对所述支板(a1)的轴向设置且分别位于所述条状横槽(a42)和所述插片(a131)。

6.根据权利要求2所述的一种拼接式硅舟，其特征在于，所述凹嵌部为设置于所述支板(a1)的相对面和外环侧面之间的凹状横槽(a14)，所述左齿棒(a2)、右齿棒(a3)和限位齿棒(a4)的端部的侧面均设有凸起的插接至所述凹状横槽(a14)的条状凸片(a43)，所述安装孔(a44)和紧定孔(a11)均相对所述支板(a1)的轴向设置且分别位于所述条状凸片(a43)和所述凹状横槽(a14)。

7.根据权利要求1-6任一所述的一种拼接式硅舟，其特征在于，所述支板(a1)为法兰盘。

8.根据权利要求1-6任一所述的一种拼接式硅舟，其特征在于，所述搁槽(a21)位于所述左齿棒(a2)和右齿棒(a3)远离所述限位齿棒(a4)的那侧，所述搁置部(a22)朝所述左齿棒(a2)和右齿棒(a3)的中间位置凸起。