[实用新型]扫描电子显微镜多样品装载组合装置

权利要求书

1.扫描电子显微镜多样品装载组合装置，其特征在于：包括样品基座(1)及插设于所述样品基座(1)上的样品台(2)，沿着所述样品台(2)边沿插设有多个样品支座(3)；

所述样品支座(3)的内端插入所述样品台(2)，所述样品支座(3)的上表面开设有竖向凹槽(31)，所述竖向凹槽(31)的一端穿出所述样品支座(3)的外端，所述样品支座(3)的外壁设有第一斜面(32)和第二斜面(33)，第一斜面(32)和第二斜面(33)分别位于所述竖向凹槽(31)的两侧，所述第一斜面(32)和第二斜面(33)的上沿分别延伸至所述竖向凹槽(31)的槽口。

2.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜多样品装载组合装置，其特征在于：所述样品台(2)为矩形，所述样品台(2)的侧壁均开设有倒T型槽，所述样品支座(3)为倒T型座，所述倒T型座与所述倒T型槽滑动配合。

3.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜多样品装载组合装置，其特征在于：还包括锁紧螺栓(4)和定位板(5)，所述锁紧螺栓(4)活动穿过所述定位板(5)的中心后，与所述样品台(2)的中心螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜多样品装载组合装置，其特征在于：所述第一斜面(32)与第二斜面(33)的倾角不相同。

5.根据权利要求1所述的扫描电子显微镜多样品装载组合装置，其特征在于：所述样品台(2)底部设有支柱(6)，所述样品基座(1)上开设有固定孔(7)，所述固定孔(7)与所述支柱(6)一一对应。