[实用新型]扫描电子显微镜多样品装载组合装置

说明书

本实用新型涉及检测设备领域，特别涉及扫描电子显微镜多样品装载组合装置，包括样品基座及插设于所述样品基座上的样品台，沿着所述样品台边沿插设有多个样品支座；样品支座的内端插入样品台，样品支座的上表面开设有竖向凹槽，竖向凹槽的一端穿出样品支座的外端，样品支座的外壁设有第一斜面和第二斜面，第一斜面和第二斜面分别位于竖向凹槽的两侧，第一斜面和第二斜面的上沿分别延伸至竖向凹槽的槽口。与现有技术相比，本实用新型结构合理，可以通过多个样品台同时装载多种样品进行观察，同一样品支座上的竖向凹槽、第一斜面和第二斜面可以用于观察样品的斜面、平面及断面样品形貌，提高了观测效率。

技术领域

本实用新型涉及检测设备领域，特别涉及扫描电子显微镜多样品装载组合装置。

背景技术

扫描电子显微镜因为其观测尺度跨幅大，能够分析的微区面积大可到达平方毫米的量级，小可至平方微米的量级，图像的几何分辨率可达到或优于纳米级。其样品制备相对简单，附件以及其他功能丰富。目前，扫描电镜已广泛应用于物理、化学、材料、冶金、矿物、地质、生物等领域，是科研、生产等领域中应用最广泛的显微分析仪器之一，是当前必不可少的分析手段。样品台是SEM的关键部件之一，它用以承载样品，并通过电子束扫描系统成像表征样品的局部特征。然而，目前SEM常用的样品台对装载样品的断面斜面观察有一定的限制，只适用于平面或断面的观察，不能在一个样品台上观察到样品的斜面、平面及断面样品形貌；当需要对样品的平面、断面及斜面进行观测时，需要选择多个类型不同的样品台并先后进样，增加了扫描电子显微镜的观测时间，影响观测效率。

实用新型内容

为了解决上述问题，本实用新型提供扫描电子显微镜多样品装载组合装置。

本实用新型采用的技术方案如下：扫描电子显微镜多样品装载组合装置，关键在于：包括样品基座及插设于所述样品基座上的样品台，沿着所述样品台边沿插设有多个样品支座；

所述样品支座的内端插入所述样品台，所述样品支座的上表面开设有竖向凹槽，所述竖向凹槽的一端穿出所述样品支座的外端，所述样品支座的外壁设有第一斜面和第二斜面，第一斜面和第二斜面分别位于所述竖向凹槽的两侧，所述第一斜面和第二斜面的上沿分别延伸至所述竖向凹槽的槽口。

优选的，所述样品台为矩形，所述样品台的侧壁均开设有倒T型槽，所述样品支座为倒T型座，所述倒T型座与所述倒T型槽滑动配合。

优选的，还包括锁紧螺栓和定位板，所述锁紧螺栓活动穿过所述定位板的中心后，与所述样品台的中心螺纹连接。

优选的，所述第一斜面与第二斜面的倾角不相同。

优选的，所述样品台底部设有支柱，所述样品基座上开设有固定孔，所述固定孔与所述支柱一一对应。

有益效果：与现有技术相比，本实用新型提供的扫描电子显微镜多样品装载组合装置，结构合理，可以通过多个样品台同时装载多种样品进行观察，同一样品支座上的竖向凹槽、第一斜面和第二斜面可以用于观察样品的斜面、平面及断面样品形貌，无需选择多个类型不同的样品台并先后进样，减少了扫描电子显微镜的观测时间，提高了观测效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为图1的俯视图；

图3为样品支座的结构示意图。

具体实施方式

为使本领域技术人员更好的理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作详细说明。

如图1-3中所示，扫描电子显微镜多样品装载组合装置，包括样品基座1及插设于所述样品基座1上的样品台2，沿着所述样品台2边沿插设有多个样品支座3；