[实用新型]扩散炉进气结构及扩散炉

权利要求书

1.扩散炉进气结构，其特征在于，所述扩散炉进气结构包括进气管(210)、转接头(220)和匀流件(230)，所述进气管(210)的进气端(211)与气源连通，所述进气管(210)的出气端(212)与所述转接头(220)的一端连通，所述转接头(220)的另一端穿过所述匀流件(230)设置，所述气源产生的气体经过所述进气管(210)和所述转接头(220)后，从所述匀流件(230)背离所述进气端(211)的一侧进入到所述匀流件(230)朝向所述进气端(211)的一侧。

2.根据权利要求1所述的扩散炉进气结构，其特征在于，所述转接头(220)包括本体(221)和出气管(222)，所述本体(221)内部设有连通腔室，所述本体(221)的一侧设置有第一进气口(2211)，所述进气管(210)插设在所述第一进气口(2211)内与所述连通腔室连通，所述出气管(222)的一端封堵，所述出气管(222)的另一端与所述连通腔室连通，所述出气管(222)的周向侧壁上设有若干组第一出气口(2221)，每组所述第一出气口(2221)均与所述连通腔室连通。

3.根据权利要求2所述的扩散炉进气结构，其特征在于，每组所述第一出气口(2221)包括若干喷淋孔，若干所述喷淋孔沿所述出气管(222)的轴向等间隔设置。

4.根据权利要求2所述的扩散炉进气结构，其特征在于，所述出气管(222)周向侧壁上设置的相邻的两组所述第一出气口(2221)的轴线之间的夹角为0°-180°。

5.根据权利要求3所述的扩散炉进气结构，其特征在于，所述第一进气口(2211)的开口面积，以及若干所述第一出气口(2221)的总开口面积均小于或等于所述进气管(210)的管口的横截面积的200％。

6.根据权利要求1所述的扩散炉进气结构，其特征在于，所述匀流件(230)包括筒体(231)和匀流板(232)，所述匀流板(232)设置在所述匀流板(232)的一端，所述匀流板(232)上设有第二进气口(2321)和第二出气口(2322)，所述转接头(220)穿过所述第二进气口(2321)设置。

7.根据权利要求6所述的扩散炉进气结构，其特征在于，所述第二出气口(2322)包括若干匀流孔，若干所述匀流孔在所述匀流板(232)上均布。

8.根据权利要求7所述的扩散炉进气结构，其特征在于，若干所述匀流孔的总开口面积小于或等于所述匀流板(232)的横截面积的70％。

9.扩散炉，其特征在于，包括炉体(100)，以及权利要求1-8中任一项所述的扩散炉进气结构，所述炉体(100)内形成放置石英舟(300)的加热腔室，所述炉体(100)包括炉尾(101)和炉口(102)，所述炉尾(101)处设有第三进气口(110)和第三出气口(120)，所述炉口(102)处设有可开闭的炉门(130)，转接头(220)和匀流件(230)设置在所述炉口(102)处，所述进气管(210)的进气端(211)穿设在所述第三进气口(110)内。

10.根据权利要求9所述的扩散炉，其特征在于，所述炉门(130)上穿设有支撑桨(140)，所述匀流件(230)上设有避让槽(233)，所述支撑桨(140)从所述避让槽(233)内穿过，所述支撑桨(140)用于支撑所述石英舟(300)。