[实用新型]扩散炉进气结构及扩散炉

说明书

本实用新型属于太阳能电池生产加工技术领域，具体公开了一种扩散炉进气结构，该扩散炉进气结构的进气管的进气端与气源连通，出气端与转接头连通，转接头的一端穿过匀流件设置，气源产生的气体经过进气管和转接头后，从匀流件的一侧进入到另一侧，通过转接头和匀流件的匀流作用后，气源产生的气体能够在空间内均布，提高了磷源均匀性，有助于在电池片上形成良好的PN结。本实用新型还包括一种扩散炉，包括上述的扩散炉进气结构。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池生产加工技术领域，尤其涉及一种扩散炉进气结构及扩散炉。

背景技术

在太阳能电池的制造过程中，非常重要的一个步骤就是制造PN结，光伏领域中常规的PERC工艺路线和TOPCON工艺路线均包括采用磷扩散来制造PN结的过程，磷扩散主要包括三氯氧磷管式扩散、喷淋磷酸溶液后链式扩散，以及丝网印刷浆料后链式扩散。

目前行业内较多采用三氯氧磷管式扩散的方式来制作PN结，通过在扩散炉100’内设置通磷源的进气管装置来向炉内通入三氯氧磷，进气管装置一般采用炉尾101’进气、炉口102’抽气的方式，如图1所示，炉尾101’处设有进气口120’和抽气口110’，抽气管130’的一端与抽气口110’连通，另一端通向炉口102’处，由于炉口102’处气体中磷源的分布不均匀，造成炉口处的电池片的扩散方阻和均匀性较差，极易造成炉口102’附近偏磷酸堆积，从而导致炉口102’附近的金属板被腐蚀，掉落的金属粉末被吹入炉管，造成电池片良品率下降，且偏磷酸过多，缩短了设备的维护周期，生产效率较低。

因此，亟需一种扩散炉进气结构及扩散炉，来解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种扩散炉进气结构及扩散炉，其扩散炉进气结构能够很好地改善扩散炉的炉口处气体的均匀性，使通入扩散炉内的气体的磷源能够在炉体内均匀分布，避免偏磷酸在炉口处堆积。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

本实用新型提供一种扩散炉，该扩散炉进气结构包括进气管、转接头和匀流件，所述进气管的进气端与气源连通，所述进气管的出气端与所述转接头的一端连通，所述转接头的另一端穿过所述匀流件设置，所述气源产生的气体经过所述进气管和所述转接头后，从所述匀流件背离所述进气端的一侧进入到所述匀流件朝向所述进气端的一侧。

可选地，所述转接头包括本体和出气管，所述本体内部设有连通腔室，所述本体的一侧设置有第一进气口，所述进气管插设在所述第一进气口内与所述连通腔室连通，所述出气管的一端封堵，所述出气管的另一端与所述连通腔室连通，所述出气管的周向侧壁上设有若干组第一出气口，每组所述第一出气口均与所述连通腔室连通。

可选地，每组所述第一出气口包括若干喷淋孔，若干所述喷淋孔沿所述出气管的轴向等间隔设置。

可选地，所述出气管周向侧壁上设置的相邻的两组所述第一出气口的轴线之间的夹角为0°-180°。

可选地，所述第一进气口的开口面积，以及若干所述第一出气口的总开口面积均小于或等于所述进气管的管口的横截面积的200％。

可选地，所述匀流件包括筒体和匀流板，所述匀流板设置在所述匀流板的一端，所述匀流板上设有第二进气口和第二出气口，所述转接头穿过所述第二进气口设置。

可选地，所述第二出气口包括若干匀流孔，若干所述匀流孔在所述匀流板上均布。

可选地，若干所述匀流孔的总开口面积小于或等于所述匀流板的横截面积的70％。

本实用新型还提供一种扩散炉，包括炉体，以及上述任一方案中的扩散炉进气结构，所述炉体内形成放置石英舟的加热腔室，所述炉体包括炉尾和炉口，所述炉尾处设有第三进气口和第三出气口，所述炉口处设有可开闭的炉门，转接头和匀流件设置在所述炉口处，所述进气管的进气端穿设在所述第三进气口内。