[实用新型]一种晶圆理片器有效
| 申请号： | 202222143284.2 | 申请日： | 2022-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN218215246U | 公开（公告）日： | 2023-01-03 |
| 发明（设计）人： | 刘军 | 申请（专利权）人： | 苏州宜宸华科工业设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L21/687 |
| 代理公司： | 杭州寒武纪知识产权代理有限公司 33271 | 代理人： | 唐克灏 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市相*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆理片器 | ||
1.一种晶圆理片器，其特征在于，包括
旋转组件(100)，所述旋转组件(100)包括机身(110)、电机(120)、转板(130)、滚轮(140)和卡板(150)，所述电机(120)设置于所述机身(110)一侧，所述转板(130)相对应设置于所述机身(110)一侧，所述转板(130)与所述电机(120)输出端固定连接，所述滚轮(140)与所述转板(130)滑动连接，所述卡板(150)与所述机身(110)滑动卡接；
限位组件(200)，所述限位组件(200)包括夹持件(210)，所述夹持件(210)相对应设置于所述机身(110)一侧。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆理片器，其特征在于，所述机身(110)一侧设置有滑槽(111)，所述机身(110)一侧设置有螺杆(112)。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆理片器，其特征在于，所述电机(120)输出端设置有轴杆(121)，所述轴杆(121)与所述机身(110)转动连接，且所述轴杆(121)与所述转板(130)固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆理片器，其特征在于，所述滚轮(140)两端设置有限位块(141)，所述限位块(141)与所述转板(130)滑动连接。
5.根据权利要求2所述的一种晶圆理片器，其特征在于，所述卡板(150)一端设置有滑块(151)，所述滑块(151)与所述滑槽(111)滑动连接，所述螺杆(112)与所述滑块(151)转动连接。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆理片器，其特征在于，所述夹持件(210)包括竖板(211)、螺纹杆(212)和夹板(213)，所述螺纹杆(212)与所述竖板(211)螺纹连接，所述夹板(213)与所述螺纹杆(212)转动连接。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆理片器，其特征在于，所述竖板(211)一侧设置有螺纹槽(2111)，所述螺纹杆(212)与所述螺纹槽(2111)螺纹连接。
8.根据权利要求7所述的一种晶圆理片器，其特征在于，所述夹板(213)一侧设置有防护垫(2131)。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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