[实用新型]一种晶圆理片器

说明书

本申请提供了一种晶圆理片器，属于晶圆理片器技术领域。该晶圆理片器包括旋转组件和限位组件，通过夹持件对晶圆花篮机械能夹持固定，防止晶圆花篮出现晃动和偏移的作用，通过滚轮和晶圆片边缘的摩擦带动晶圆片沿逆时针旋转，当晶圆片卡口接触到卡板时，通过晶圆片自身的重力作用，晶圆片不再旋转，待所有晶圆片都不再旋转后，通过调节卡板的位置来使晶圆片卡口到达需要停留的位置，直接将滚轮与转板分离，安装时通过滚轮两端与转板的滑动摩擦力可以对滚轮进行定位，防止滚轮在转动时脱离转板，进而方便对滚轮进行拆卸或者更换，同时方便对晶圆花篮进行限位，防止晶圆花篮出现晃动的现象，从而提高了实用性。

技术领域

本申请涉及晶圆理片器领域，具体而言，涉及一种晶圆理片器。

背景技术

晶圆片，又称硅晶片，是由硅锭加工而成的，通过专门的工艺可以在硅晶片上可是刻蚀出数以万计的晶体管，被广泛应用于集成电路的制造。这些被刻蚀出来的晶体管比人的头发要细小上百倍。半导体通过控制电流来管理数据，形成各种文字、数字、声音、图像和色彩。他们被广泛用于集成电路，并间接地被地球上的每个人使用，如中国专利申请号为CN201720243701.7的一种晶圆片理片器，包括机身，所述的机身内左侧位置安装有滚轮，滚轮为抗静电硅胶滚轮，滚轮与安装于机身外侧的驱动装置联动，驱动装置为手动或电动装置，机身内右侧位置安装有卡板，卡板与安装于机身右端外侧的卡板限位装置接触，机身内侧设置有阶梯式横条；本实用新型的有益效果：本实用新型解决了依靠人工一片一片核对晶圆片槽口，以及人工比对槽口不准，效率低的困扰，大大提高了工作效率和精度，降低人工的工作强度。

但是上述方案仍然具有一定的缺陷：首先滚轮长时间使用与晶圆片摩擦表面会出现磨损，影响使用效果，不方便对滚轮进行拆卸或者更换，其次晶圆花篮是直接放置在机身上，缺乏对晶圆花篮限位的结构，导致滚轮转动时容易使晶圆花篮出现晃动的现象，从而降低了实用性。

实用新型内容

为了弥补以上不足，本申请提供一种晶圆理片器，旨在改善相关技术中不方便对滚轮进行拆卸或者更换，其次晶圆花篮是直接放置在机身上，缺乏对晶圆花篮限位的结构，导致滚轮转动时容易使晶圆花篮出现晃动的现象，从而降低了实用性的问题。

本申请实施例提供了一种晶圆理片器包括旋转组件和限位组件。

所述压缩机表面设置有管道，所述旋转组件包括机身、电机、转板、滚轮和卡板，所述电机设置于所述机身一侧，所述转板相对应设置于所述机身一侧，所述转板与所述电机输出端固定连接，所述滚轮与所述转板滑动连接，所述卡板与所述机身滑动卡接，所述限位组件包括夹持件，所述夹持件相对应设置于所述机身一侧。

在一种具体的实施方案中，所述机身一侧设置有滑槽，所述机身一侧设置有螺杆。

在上述实现过程中，机身一侧设置有滑槽，设置滑槽可以起到限位的作用，设置螺杆可以起到调节的作用。

在一种具体的实施方案中，所述电机输出端设置有轴杆，所述轴杆与所述机身转动连接，且所述轴杆与所述转板固定连接。

在上述实现过程中，电机输出端设置有轴杆，设置轴杆可以起到连接的作用，可以带动转板进行转动。

在一种具体的实施方案中，所述滚轮两端设置有限位块，所述限位块与所述转板滑动连接。

在上述实现过程中，滚轮两端设置有限位块，通过两端限位块与转板进行连接，限位块与转板滑动连接时会出现滑动摩擦力，而滑动摩擦力可以防止滚轮在转动时与转板脱离，相当于起到卡接的作用，并且可以起到方便拆卸和更换的作用。

在一种具体的实施方案中，所述卡板一端设置有滑块，所述滑块与所述滑槽滑动连接，所述螺杆与所述滑块转动连接。

在上述实现过程中，卡板一端设置有滑块，设置滑块可以起到支撑的作用，通过转动螺杆可以对卡板进行位置调节。