[实用新型]一种靶材切割固定装置有效

专利信息
申请号: 202222152996.0 申请日: 2022-08-16
公开(公告)号: CN218110078U 公开(公告)日: 2022-12-23
发明(设计)人: 王永超;居炎鹏;李心然;赵泽良;王留土;范振清;史豪杰;郑海强;杨志刚 申请(专利权)人: 河南东微电子材料有限公司
主分类号: B23Q3/08 分类号: B23Q3/08
代理公司: 郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149 代理人: 刘文丽
地址: 450000 河南省郑州市航空港区新港大*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 切割 固定 装置
【权利要求书】:

1.一种靶材切割固定装置,其特征是,包括底座、外框架、托料板、上侧夹持机构、侧部夹持机构,所述外框架截面呈门型结构,包括两相对设置的竖板以及连接两竖板顶部的顶板,所述竖板的底部固定于底座上,托料板设有两块、设置在底座上并位于外框架内部,两块托料板中间设有间隔,两托料板相对的上边沿用于托置靶坯下端;上侧夹持机构设置于顶板上,包括上压板、上活塞缸,上活塞缸缸体固定于顶板上,上活塞缸的活塞杆向下伸出与上压板连接、用于驱动上压板对靶坯上端进行顶压;侧部夹持机构设有两个、用于分别设置在靶坯的水平两侧,包括侧活塞缸、侧夹板,侧夹板下侧与所述托料板转动连接,侧活塞缸缸体转动安装在所述竖板上,侧活塞缸活塞杆向外框架内部伸出并与侧夹板上侧转动连接,所述侧夹板用于受到侧活塞缸推动作用相对托料板转动、夹紧靶坯侧部。

2.如权利要求1所述的一种靶材切割固定装置,其特征是,所述上压板的两侧设有滑动凸起,所述竖板内侧则设有用于与滑动凸起上下滑动导向配合的滑动凹槽,所述滑动凹槽为收口槽。

3.如权利要求1或2所述的一种靶材切割固定装置,其特征是,还包括用于对靶坯切割端进行限位的可调限位件,可调限位件整体呈L型结构,包括竖直限位板和横向板,底座上于两托料板之间的间隔处设有供所述横向板插入的安装槽,安装槽槽底设有螺柱,横向板上设有供螺柱通过的长槽,所述竖直限位板固定在横向板一端,所述长槽贯通横向板另一端;通过螺母与螺柱连接将横向板压紧固定在所述底座上,使用时竖直限位板用于与靶坯切割端的端面相抵。

4.如权利要求3所述的一种靶材切割固定装置,其特征是,所述横向板的竖直侧面上设有刻度线。

5.如权利要求1或2或4所述的一种靶材切割固定装置,其特征是,两托料板相对的上边沿处设有弧形过渡面。

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