[实用新型]一种靶材切割固定装置

说明书

本实用新型涉及一种靶材切割固定装置，包括底座、外框架、托料板、上侧夹持机构、侧部夹持机构，外框架包括两相对设置的竖板以及连接两竖板顶部的顶板，两托料板相对的上边沿用于托置靶坯下端；上侧夹持机构设置于顶板上，包括上压板、上活塞缸，上活塞缸的活塞杆用于驱动上压板对靶坯上端进行顶压；侧部夹持机构设有两个、用于分别设置在靶坯的水平两侧，包括侧活塞缸、侧夹板，侧夹板用于受到侧活塞缸推动作用相对托料板转动、夹紧靶坯侧部。本靶材切割固定装置能够解决目前靶材切割装置夹持机构拆装速度慢、费时费力的技术问题，具有靶坯拆卸省时省力，靶材切割效率高的特点。

技术领域

本实用新型涉及靶材加工设备技术领域，更具体地说，它涉及一种靶材切割固定装置。

背景技术

靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。多数靶材加工制造过程中离不开切割作业，一般需要将圆柱状的靶坯固定好、切成片状的圆形靶材；目前靶材切割装置上设置的用于固定靶坯的夹持机构，为满足不同尺寸靶坯通用性，多为螺纹式可调结构，在拆装靶坯或调节夹持尺寸时需要重复旋拧螺纹，拆装速度慢，不仅浪费人力，还导致靶材切割效率低、增加整体加工成本。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种靶材切割固定装置，能够解决目前靶材切割装置夹持机构拆装速度慢、费时费力的技术问题。

本实用新型提供了如下技术方案：一种靶材切割固定装置，包括底座、外框架、托料板、上侧夹持机构、侧部夹持机构，所述外框架截面呈门型结构，包括两相对设置的竖板以及连接两竖板顶部的顶板，所述竖板的底部固定于底座上，托料板设有两块、设置在底座上并位于外框架内部，两块托料板中间设有间隔，两托料板相对的上边沿用于托置靶坯下端；上侧夹持机构设置于顶板上，包括上压板、上活塞缸，上活塞缸缸体固定于顶板上，上活塞缸的活塞杆向下伸出与上压板连接、用于驱动上压板对靶坯上端进行顶压；侧部夹持机构设有两个、用于分别设置在靶坯的水平两侧，包括侧活塞缸、侧夹板，侧夹板下侧与所述托料板转动连接，侧活塞缸缸体转动安装在所述竖板上，侧活塞缸活塞杆向外框架内部伸出并与侧夹板上侧转动连接，所述侧夹板用于受到侧活塞缸推动作用相对托料板转动、夹紧靶坯侧部。

有益效果：本靶材切割固定装置用于安装靶坯时，将靶坯沿两块托料板中间的间隔竖向放置在两托料板之间，之后驱动上活塞缸、侧活塞缸的活塞杆伸出，使上压板伸出、侧夹板相对底座向靶坯转动，从顶部、两侧分别顶紧、夹紧靶坯，使靶坯无法移动；同样的，驱动上活塞缸、侧活塞缸使其活塞杆收回，上压板向上移动，侧夹板相对底座远离靶坯移动，上侧夹持机构和侧部夹持机构均松开靶坯，操作人员可直接拿下或者推动靶坯。综上，本实用新型具有拆卸方便、快速的优点，靶坯安装好以后其顶部、侧部、底部均受到夹持顶紧，结构稳固、便于切割；使用适用性好，可用于不同外径尺寸的靶坯，拆装过程中人手操作步骤少，通过外部气源、液压源即可快速完成作业，省时省力，大大提高拆装效率、加快切割速度的同时降低靶材综合加工成本。

进一步的，所述上压板的两侧设有滑动凸起，所述竖板内侧则设有用于与滑动凸起上下滑动导向配合的滑动凹槽，所述滑动凹槽为收口槽。

有益效果：上压板与竖板上下滑动配合，保证上压板移动过程中沿既定路线运动、避免发生偏移。

进一步的，靶材切割固定装置还包括用于对靶坯切割端进行限位的可调限位件，可调限位件整体呈L型结构，包括竖直限位板和横向板，底座上于两托料板之间的间隔处设有供所述横向板插入的安装槽，安装槽槽底设有螺柱，横向板上设有供螺柱通过的长槽，所述竖直限位板固定在横向板一端，所述长槽贯通横向板另一端；通过螺母与螺柱连接将横向板压紧固定在所述底座上，使用时竖直限位板用于与靶坯切割端的端面相抵。

有益效果：设置对靶坯切割端进行限位、位置可移动的可调限位件，便于调节、确定靶材切割厚度。

进一步的，所述横向板的竖直侧面上设有刻度线。