[实用新型]一种排气通道防护组件和单晶炉的热场器件

权利要求书

1.一种排气通道防护组件，其特征在于，所述排气通道防护组件包括护盖和保温件；

所述保温件设置在所述护盖的顶部，所述护盖的底部为至少两个支撑臂，相邻两个所述支撑臂间隔设置；

其中，在所述护盖的底部为三个支撑臂的情况下，每相邻两个所述支撑臂之间的间距相等；

所述护盖的顶部为法兰结构；

所述法兰结构具有容纳腔体，所述容纳腔体在第二方向上的尺寸为第一数值，所述保温件设置在所述容纳腔体中；

其中，所述第二方向为和所述法兰结构的轴线所在的方向一致的方向，所述第一数值为等于所述保温件在所述第二方向上的尺寸的数值，或者和所述保温件在所述第二方向上的尺寸之间的差值趋于0值的数值。

2.根据权利要求1所述的排气通道防护组件，其特征在于，所述支撑臂靠近所述护盖的顶部的部分在第一方向上的尺寸小于所述支撑臂远离所述护盖顶部的部分在所述第一方向上的尺寸，其中，所述第一方向为和所述护盖的轴线垂直的方向。

3.根据权利要求1所述的排气通道防护组件，其特征在于，所述保温件为硬质保温件，所述硬质保温件固定在所述容纳腔体的底部，所述硬质保温件在所述第二方向上的尺寸大于或者等于所述第一数值。

4.根据权利要求1所述的排气通道防护组件，其特征在于，所述保温件为软质保温件，所述软质保温件填充在所述容纳腔体中，且覆盖在所述容纳腔体的底部，所述软质保温件在所述第二方向上的尺寸小于或者等于所述第一数值。

5.根据权利要求4所述的排气通道防护组件，其特征在于，所述排气通道防护组件还包括盖板，所述盖板抵压在所述软质保温件远离所述法兰结构的表面上，以使所述软质保温件覆盖所述容纳腔体的底部。

6.根据权利要求5所述的排气通道防护组件，其特征在于，所述盖板嵌装在所述法兰结构的内壁上，所述盖板的边缘和所述法兰结构的内壁之间无间隙。

7.根据权利要求1所述的排气通道防护组件，其特征在于，所述保温件包括第一保温层和第二保温层；

所述第一保温层覆盖在所述容纳腔体的底部，所述第二保温层覆盖在所述第二保温层上；

所述第一保温层为软质保温件，所述第二保温层为硬质保温件。

8.一种单晶炉的热场器件，其特征在于，所述单晶炉的热场器件包括保温层、护底压板、炉底、排气通道和权利要求1-7任一项所述的排气通道防护组件；

所述排气通道的两端分别和所述排气通道防护组件和所述炉底相连，所述保温层覆盖在所述炉底上，所述护底压板覆盖在所述保温层上，且所述保温层和所述护底压板包覆所述排气通道。