[实用新型]一种排气通道防护组件和单晶炉的热场器件

说明书

本实用新型实施例提供了一种排气通道防护组件及单晶炉的热场器件。该排气通道防护组件包括护盖和保温件；保温件设置在护盖的顶部，护盖的底部为至少两个支撑臂，相邻两个支撑臂间隔设置。这样，不仅可以可以通过两个支撑臂之间的间隙可以使气流流入排气通道，减少护盖轴线方向上热量的流失，进而在保证正常排气的情况下，简化护盖的加工工艺，降低护盖底部的损坏率，使得护盖的使用及生产制造成本得到降低，而且通过保温件使得排气通道防护组件的保温性能进一步提升，可以阻挡热量向法兰结构的底部传导，进而有利于提升排气通道防护组件底部设置的单晶炉的热场器件保温性能。

技术领域

本实用新型涉及硅棒生产技术领域，特别是涉及一种排气通道防护组件和单晶炉的热场器件。

背景技术

在生产单晶硅棒的过程中，通常需要通过高温将多晶硅原料熔化后，用籽晶做为引体垂直拉制出单晶硅棒。而在生产单晶硅棒过程中，不仅需要控制熔硅温度，而且需要保证拉制环境的纯度。

目前，为控制熔硅温度，保证拉制环境的纯度，通常在单晶炉的热场器件的排气通道的顶部覆盖有护盖，进而通过护盖一方面可以起到阻挡上方异物直接掉入单晶炉的热场器件的排气通道中，另一方面可以起到对气体的导流作用，使气体不直接从护盖上方垂直进入。

然而，由于现有的护盖仅通过护盖所覆盖的面积阻挡热量向热场炉单晶炉的热场器件的排气通道辐射，因此使得护盖的保温效果有限，且由于护盖的结构较为复杂，因此还增加了护盖的生产及制造成本。

实用新型内容

为了解决或部分的解决上述问题，本实用新型公开了排气通道防护组件和单晶炉的热场器件，以解决现有技术中护盖的保温效果有限及产及制造成本较高的问题。

第一方面，本实用新型公开了一种排气通道防护组件，其特征在于，所述排气通道防护组件包括护盖和保温件；

所述保温件设置在所述护盖的顶部，所述护盖的底部为至少两个支撑臂，相邻两个所述支撑臂间隔设置。

可选的，所述护盖的底部至少设置有三个支撑臂，每相邻两个所述支撑臂之间的间距相等。

可选的，所述支撑臂靠近所述护盖顶部的部分在第一方向上的尺寸小于所述支撑臂远离所述护盖顶部的部分在所述第一方向上的尺寸，其中，所述第一方向为和所述护盖的轴线垂直的方向。

可选的，所述护盖的顶部为法兰结构；

所述法兰结构具有容纳腔体，所述容纳腔体在第二方向上的尺寸为第一数值，所述保温件设置在所述容纳腔体中；

其中，所述第二方向为和所述法兰结构的轴线所在的方向一致的方向，所述第一数值为等于所述保温件在所述第二方向上的尺寸的数值，或者和所述保温件在所述第二方向上的尺寸之间的差值趋于0值的数值。

可选的，所述保温件为硬质保温件，所述硬质保温件固定在所述容纳腔体的底部，所述硬质保温件在所述第二方向上的尺寸大于或者等于所述第一数值。

可选的，所述保温件为软质保温件，所述软质保温件填充在所述容纳腔体中，且覆盖在所述容纳腔体的底部，所述软质保温件在所述第二方向上的尺寸小于或者等于所述第一数值。

可选的，所述排气通道防护组件还包括盖板，所述盖板抵压在所述软质保温件远离所述法兰结构的表面上，以使所述软质保温件覆盖所述容纳腔体的底部。

可选的，所述盖板嵌装在所述法兰结构的内壁上，所述盖板的边缘和所述法兰结构的内壁之间无间隙。

可选的，所述保温件包括第一保温层和第二保温层；

所述第一保温层覆盖在所述容纳腔体的底部，所述第二保温层覆盖在所述第二保温层上；

所述第一保温层为软质保温件，所述第二保温层为硬质保温件。