[实用新型]一种芯片封装结构有效
申请号: | 202222192731.3 | 申请日: | 2022-08-19 |
公开(公告)号: | CN217933791U | 公开(公告)日: | 2022-11-29 |
发明(设计)人: | 瞿宏宇;潘远杰;周祖源 | 申请(专利权)人: | 盛合晶微半导体(江阴)有限公司 |
主分类号: | H01L25/07 | 分类号: | H01L25/07;H01L23/31 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 214437 江苏省无锡市江阴市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 封装 结构 | ||
1.一种芯片封装结构,其特征在于,所述芯片封装结构包括:中介层板材、防翘曲层及若干个芯片;
所述中介层板材包括若干个封装区及划片区,若干个所述封装区呈阵列排布,所述划片区环设在所述封装区的外围;其中,所述封装区埋置有预埋线路,且所述预埋线路通过至少一个连接焊垫引出至所述封装区的上表面;
所述防翘曲层至少形成在所述划片区的下表面;
所述芯片的有源面上设有微凸块,所述微凸块与所述连接焊垫键合连接。
2.根据权利要求1所述的芯片封装结构,其特征在于,所述防翘曲层包括氮化硅层、氧化硅层或氮氧化硅层。
3.根据权利要求1所述的芯片封装结构,其特征在于,所述芯片封装结构还包括:缓冲层,形成在所述封装区的下表面。
4.根据权利要求3所述的芯片封装结构,其特征在于,所述缓冲层包括可光降解有机凝胶层。
5.根据权利要求3所述的芯片封装结构,其特征在于,所述缓冲层的厚度与所述防翘曲层厚度相同,所述防翘曲层的厚度大于等于0.5μm。
6.根据权利要求1所述的芯片封装结构,其特征在于,所述中介层板材的厚度介于0.2mm~1mm之间。
7.根据权利要求1所述的芯片封装结构,其特征在于,所述芯片为裸芯片,每个所述封装区键合连接有至少一个所述芯片。
8.根据权利要求1所述的芯片封装结构,其特征在于,所述芯片封装结构还包括:填充胶层,形成于所述封装区与所述芯片之间的缝隙中。
9.根据权利要求1所述的芯片封装结构,其特征在于,所述芯片封装结构还包括:塑封材料层,形成于所述中介层板材的上表面并包覆所述芯片。
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