[实用新型]坩埚传动组件与晶体生长装置

权利要求书

1.一种坩埚传动组件，所述坩埚传动组件用于晶体生长装置中，其特征在于，包括：

坩埚轴(1)，所述坩埚轴(1)具有坩埚安装部(11)；

连接轴(2)，所述连接轴(2)与所述坩埚轴(1)通过螺纹连接；

驱动轴(3)，所述驱动轴(3)与所述连接轴(2)通过螺纹连接，且所述驱动轴(3)还与所述坩埚轴(1)通过螺纹连接。

2.根据权利要求1所述的坩埚传动组件，其特征在于，所述连接轴(2)与所述坩埚轴(1)连接处的螺距为M，所述驱动轴(3)与所述连接轴(2)、所述坩埚轴(1)连接处的螺距为N，且满足：M≠N。

3.根据权利要求1所述的坩埚传动组件，其特征在于，所述连接轴(2)与所述坩埚轴(1)连接处的旋向和所述驱动轴(3)与所述连接轴(2)、所述坩埚轴(1)连接处的旋向相同。

4.根据权利要求1所述的坩埚传动组件，其特征在于，所述坩埚轴(1)包括同轴设置的本体部(12)和变径部(13)，所述连接轴(2)与所述变径部(13)通过螺纹连接，所述驱动轴(3)与所述连接轴(2)、所述本体部(12)通过螺纹连接。

5.根据权利要求4所述的坩埚传动组件，其特征在于，所述连接轴(2)包括第一轴段(21)和第二轴段(22)，所述第一轴段(21)内设有第一内螺纹，所述第二轴段(22)内设有第二内螺纹，所述变径部(13)设有与所述第一轴段(21)的所述第一内螺纹配合的第一外螺纹，所述坩埚轴(1)设有第三内螺纹，所述驱动轴(3)设有分别与所述第二轴段(22)的所述第二内螺纹和所述坩埚轴(1)的第三内螺纹配合的第二外螺纹。

6.根据权利要求4所述的坩埚传动组件，其特征在于，所述变径部(13)的外径小于所述本体部(12)的外径，所述本体部(12)设有第三外螺纹，所述变径部(13)设有第四外螺纹，所述驱动轴(3)设有第四内螺纹，所述连接轴(2)设有第五内螺纹和第六外螺纹，所述连接轴(2)通过所述第五内螺纹与所述变径部(13)的第四外螺纹配合，且所述连接轴(2)通过所述第六外螺纹与所述驱动轴(3)的所述第四内螺纹配合，其中所述连接轴(2)的外径与所述本体部(12)的外径相同。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的坩埚传动组件，其特征在于，所述驱动轴(3)上设有传动板(31)，所述传动板(31)与所述驱动轴(3)固定连接，所述传动板(31)位于所述连接轴(2)的端面，且所述传动板(31)与所述连接轴(2)的端面之间设有至少一组传动机构(35)，每组所述传动机构(35)包括传动球(32)和弹簧(33)，所述弹簧(33)的一端固定于所述传动板(31)，另一端与所述传动球(32)连接，所述弹簧(33)用于将所述传动球(32)止抵于所述连接轴(2)的端面。

8.根据权利要求7所述的坩埚传动组件，其特征在于，所述传动板(31)上设有凹槽(34)，所述弹簧(33)的一端与所述凹槽(34)的底壁连接，所述弹簧(33)的另一端与所述传动球(32)连接，所述传动球(32)至多一半露出所述凹槽(34)；

所述连接轴(2)的朝向所述传动板(31)的端面上设置弧形卡槽(23)，所述弧形卡槽(23)构造为圆弧段，且所述弧形卡槽(23)的圆心位于所述连接轴(2)的轴线上，所述传动球(32)的露出所述凹槽(34)的部分容置于所述弧形卡槽(23)内。

9.根据权利要求8所述的坩埚传动组件，其特征在于，沿着所述驱动轴(3)的旋紧方向，所述弧形卡槽(23)的深度逐渐增加，且所述弧形卡槽(23)的最大深度与所述传动球(32)的露出所述凹槽(34)的高度相同。

10.一种晶体生长装置，其特征在于，包括坩埚以及权利要求1-9中任一项所述的坩埚传动组件，所述坩埚设置于所述坩埚安装部(11)上。