[实用新型]坩埚传动组件与晶体生长装置

说明书

本实用新型公开了一种坩埚传动组件与具有其的晶体生长装置。该坩埚传动组件用于晶体生长装置中，包括：坩埚轴，所述坩埚轴具有坩埚安装部；连接轴，所述连接轴与所述坩埚轴通过螺纹连接；驱动轴，所述驱动轴与所述连接轴通过螺纹连接，且所述驱动轴还与所述坩埚轴通过螺纹连接。根据本实用新型的坩埚传动组件能避免传动力集中在同一位置的螺牙上，能延长坩埚轴的使用寿命。

技术领域

本实用新型涉及晶体材料制备技术领域，具体而言，涉及一种坩埚传动组件与晶体生长装置。

背景技术

在CZ法(直拉单晶制造法)的单晶生长中，坩埚的底部设置有坩埚轴，利用坩埚轴带动坩埚旋转，为避免坩埚轴对坩埚内的熔汤造成污染，坩埚轴一般采用石墨材质，驱动电机可以通过与坩埚轴的齿轮传动，驱动坩埚轴转动，但是由于石墨材质相对较软，容易出现传动部位的损坏，严重影响了坩埚轴的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决现有技术中的上述技术问题之一。为此，本实用新型提出一种坩埚传动组件，能避免传动力集中在同一位置的螺牙上，能延长坩埚轴的使用寿命。

本实用新型还提出了一种具有上述坩埚传动组件的晶体生长装置。

根据本实用新型实施例的坩埚传动组件，所述坩埚传动组件用于晶体生长装置中，包括：坩埚轴，所述坩埚轴具有坩埚安装部；连接轴，所述连接轴与所述坩埚轴通过螺纹连接；驱动轴，所述驱动轴与所述连接轴通过螺纹连接，且所述驱动轴还与所述坩埚轴通过螺纹连接。

根据本实用新型实施例的坩埚传动组件，驱动轴的传动力可以被分解成两个，一个是驱动轴直接传递给坩埚轴的传动力；一个是驱动轴施加给连接轴的传动力，然后再通过连接轴传递给坩埚轴；也就是说，两部分的传动力，一部分被坩埚轴的螺纹承担，另一部分被连接轴的螺纹承担，从而可以避免传动力集中分布在同一位置的螺牙上，可以延长坩埚轴的使用寿命。

根据本实用新型的一些实施例，所述连接轴与所述坩埚轴连接处的螺距为M，所述驱动轴与所述连接轴、所述坩埚轴连接处的螺距为N，且满足：M≠N。

根据本实用新型的一些实施例，所述连接轴与所述坩埚轴连接处的旋向和所述驱动轴与所述连接轴、所述坩埚轴连接处的旋向相同。

根据本实用新型的一些实施例，所述坩埚轴包括同轴设置的本体部和变径部，所述连接轴与所述变径部通过螺纹连接，所述驱动轴与所述连接轴、所述本体部通过螺纹连接。

根据本实用新型的一些实施例，所述连接轴包括第一轴段和第二轴段，所述第一轴段内设有第一内螺纹，所述第二轴段内设有第二内螺纹，所述变径部设有与所述第一轴段的所述第一内螺纹配合的第一外螺纹，所述坩埚轴设有第三内螺纹，所述驱动轴设有分别与所述第二轴段的所述第二内螺纹和所述坩埚轴的第三内螺纹配合的第二外螺纹。

根据本实用新型的一些实施例，所述变径部的外径小于所述本体部的外径，所述本体部设有第三外螺纹，所述变径部设有第四外螺纹，所述驱动轴设有第四内螺纹，所述连接轴设有第五内螺纹和第六外螺纹，所述连接轴通过所述第五内螺纹与所述变径部的第四外螺纹配合，且所述连接轴通过所述第六外螺纹与所述驱动轴的所述第四内螺纹配合，其中所述连接轴的外径与所述本体部的外径相同。

根据本实用新型的一些实施例，所述驱动轴上设有传动板，所述传动板与所述驱动轴固定连接，所述传动板位于所述连接轴的端面，且所述传动板与所述连接轴的端面之间设有至少一组传动机构，每组所述传动机构包括传动球和弹簧，所述弹簧的一端固定于所述传动板，另一端与所述传动球连接，所述弹簧用于将所述传动球止抵于所述连接轴的端面。

根据本实用新型的一些实施例，所述传动板上设有凹槽，所述弹簧的一端与所述凹槽的底壁连接，所述弹簧的另一端与所述传动球连接，所述传动球至多一半露出所述凹槽；