[实用新型]一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构

权利要求书

1.一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，连接于伸缩机构（1）上、用于夹取花篮（5），其特征在于，包括：对称设置、且可实现张闭的两个夹持机构（3），以及连接在伸缩机构（1）上、用于带动所述夹持机构（3）张闭的动力机构（2）；

所述动力机构（2）包括：用于连接所述夹持机构（3）的两个传动杆（23），连接在所述传动杆（23）上的转动块（24），与所述转动块（24）连接、用于带动所述转动块（24）转动的位移机构；其中，所述转动块（24）两侧对称开设有倾斜的滑槽（241），所述位移机构两侧分别连接有滚轮（29），所述滚轮（29）放置在所述滑槽（241）内。

2.如权利要求1所述的一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，其特征在于，所述动力机构（2）还包括：连接在伸缩机构（1）上的基座（21），所述基座（21）上连接有两两对称的四个轴接座（22），所述传动杆（23）的端部轴接在一侧的两个所述轴接座（22）内。

3.如权利要求2所述的一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，其特征在于，所述位移机构连接在两个所述传动杆（23）之间，所述位移机构包括：连接在所述基座（21）上的电机（25），所述电机（25）的输出轴端连接有丝杆（26），所述丝杆（26）上连接有丝杆螺母（27），所述丝杆螺母（27）连接在导轨机构（28）上，所述导轨机构（28）连接在所述基座（21）上；所述丝杆螺母（27）的两侧分别连接有所述滚轮（29）。

4.如权利要求2所述的一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，其特征在于，所述基座（21）上设有罩体。

5.如权利要求1所述的一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，其特征在于，所述夹持机构（3）两两对称的连接在所述传动杆（23）上，所述夹持机构（3）包括：连接在所述传动杆（23）上的两个固定架（31），两个所述固定架（31）底部可拆卸的连接有与所述花篮（5）配合的U型夹爪（32）。

6.如权利要求5所述的一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，其特征在于，所述U型夹爪（32）通过卡套与所述固定架（31）螺纹连接。

7.如权利要求5所述的一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，其特征在于，所述U型夹爪（32）外部包覆有护套。

8.如权利要求1所述的一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，其特征在于，所述花篮（5）上设有夹持部（51）。

9.如权利要求5所述的一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，其特征在于，所述固定架（31）中部连接有、用于监测花篮（5）位置的传感器（4）。