[实用新型]一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构

说明书

本实用新型属于领域，提供了一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，连接于伸缩机构上、用于夹取花篮，包括：对称设置、且可实现张闭的两个夹持机构，以及连接在伸缩机构上、用于带动夹持机构张闭的动力机构；动力机构包括：用于连接夹持机构的两个传动杆，连接在传动杆上的转动块，与转动块连接、用于带动转动块转动的位移机构；其中，转动块两侧对称开设有倾斜的滑槽，位移机构两侧分别连接有滚轮，滚轮放置在滑槽内。本实用新型的用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，用于解决机械手动力控制稳定的技术问题。

技术领域

本实用新型涉及晶圆加工设备领域，尤其涉及一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构。

背景技术

在晶圆的生产过程中，需要对晶圆进行清洗；在使用槽式清洗机时，需要对晶圆花篮进行传输，常见的传输方式通常是借助机械手夹持，机械手的动力机构通常为气缸，或是其他较为复杂的传动机构，如专利CN2011101985717公开了一种用于卸料机械手，通过两个气缸带动两个夹持头移动并对物品进行夹持，气缸的动力控制较为困难，动力不稳，使机械手夹持不稳、且易造成花篮的损坏。

实用新型内容

本实用新型的一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，用于解决背景技术中机械手动力控制稳定的技术问题。

本实用新型提供的技术方案如下：一种用于夹取晶圆花篮的夹爪机构，连接于伸缩机构上、用于夹取花篮，包括：对称设置、且可实现张闭的两个夹持机构，以及连接在伸缩机构上、用于带动夹持机构张闭的动力机构；

动力机构包括：用于连接夹持机构的两个传动杆，连接在传动杆上的转动块，与转动块连接、用于带动转动块转动的位移机构；其中，转动块两侧对称开设有倾斜的滑槽，位移机构两侧分别连接有滚轮，滚轮放置在滑槽内。

进一步的，动力机构还包括：连接在伸缩机构上的基座，基座上连接有两两对称的四个轴接座，传动杆的端部轴接在一侧的两个轴接座内。

进一步的，位移机构连接在两个传动杆之间，位移机构包括：连接在基座上的电机，电机的输出轴端连接有丝杆，丝杆上连接有丝杆螺母，丝杆螺母连接有导轨机构上，导轨机构连接在基座上；丝杆螺母的两侧分别连接有滚轮。

进一步的，基座上设有罩体。

进一步的，夹持机构两两对称的连接在传动杆上，夹持机构包括：连接在传动杆上的两个固定架，两个固定架底部可拆卸的连接有与花篮配合的U型夹爪。

进一步的，U型夹爪通过卡套与固定架螺纹连接。

进一步的，U型夹爪外部包覆有护套。

进一步的，花篮上设有夹持部。

进一步的，固定架中部连接有、用于监测花篮位置的传感器。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

(1)本实用新型的夹爪机构，通过位移机构位移，带动滚轮在滑槽内位移，从而带动转动块转动；动力机构运行稳定，从而使夹取花篮更为稳定、且不会对花篮造成损坏。

(2)本实用新型的夹爪机构，U型夹爪为可拆卸连接，从而当U型夹爪损坏时，便于更换。

(3)本实用新型的夹爪机构，U型夹爪外部包覆有护套，使U型夹爪更耐腐蚀，从而延长U型夹爪的使用寿命。

附图说明

图1是本实用新型的夹爪机构的整体结构示意图；

图2是本实用新型中动力机构的局部放大图；

图3是本实用新型中U型夹爪连接处的局部放大图。