[实用新型]一种半导体铝板生产用打磨装置

说明书

本实用新型涉及一种半导体铝板生产用打磨装置，包括仓体，所述仓体的顶部固定安装有架体，所述架体的内顶壁设置有打磨机构，所述仓体的内部设置有贯穿并延伸到仓体上方的移动机构，所述移动机构的顶部设置有收集机构，所述收集机构的顶部设置有定位机构，所述移动机构包括第一螺纹杆，所述第一螺纹杆的左侧转动连接在仓体的内壁左侧，所述第一螺纹杆的右侧转动连接在仓体的内壁右侧。该半导体铝板生产用打磨装置，通过设置移动机构，不仅便于带动铝板进行左右移动，而且稳定性好，减少了在打磨时移动的情况发生，提高了打磨效率，降低了对铝板品质造成的影响，从而具备高效打磨的优点，方便了使用。

技术领域

本实用新型涉及铝板生产技术领域，具体为一种半导体铝板生产用打磨装置。

背景技术

刻蚀是半导体制造工艺，微电子IC制造工艺以及微纳制造工艺中的一种相当重要的步骤，是与光刻相联系的图形化处理的一种主要工艺，这种设备需要极高精度的铝板，铝板是指用铝锭轧制加工而成的矩形板材，分为纯铝板，合金铝板，薄铝板，中厚铝板，花纹铝板。

在对铝板进行生产时，需要使用打磨装置对铝板进行打磨，工作人员先对铝板进行定位，然后开启打磨机构对铝板进行打磨，虽然现有的打磨装置便于带动铝板进行左右移动，可以对铝板不同的位置进行打磨，但是稳定性不佳，在打磨时可能会发生移动，降低了打磨效率，影响了铝板品质，需要进行改进。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种半导体铝板生产用打磨装置，具备高效打磨等优点，解决了现有的打磨装置便于带动铝板进行左右移动，可以对铝板不同的位置进行打磨，但是稳定性不佳，在打磨时可能会发生移动，降低了打磨效率，影响了铝板品质的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体铝板生产用打磨装置，包括仓体，所述仓体的顶部固定安装有架体，所述架体的内顶壁设置有打磨机构，所述仓体的内部设置有贯穿并延伸到仓体上方的移动机构，所述移动机构的顶部设置有收集机构，所述收集机构的顶部设置有定位机构；

所述移动机构包括第一螺纹杆，所述第一螺纹杆的左侧转动连接在仓体的内壁左侧，所述第一螺纹杆的右侧转动连接在仓体的内壁右侧，所述仓体的内底壁转动安装有一端贯穿并延伸到仓体上方的蜗杆，所述第一螺纹杆的外部固定安装有与蜗杆相啮合的蜗轮，所述第一螺纹杆的外部且位于蜗轮的左侧螺纹安装有数量为两个的螺纹套，两个所述螺纹套均与第一螺纹杆相匹配，所述螺纹套的顶部固定安装有移动柱，两个所述移动柱的顶部均贯穿仓体并与收集机构固定连接。

进一步，所述打磨机构包括电动推杆，所述电动推杆固定连接在架体的内顶壁，所述电动推杆的输出端固定安装有电机，所述电机的输出端固定安装有连接杆，所述连接杆的底部固定安装有打磨盘。

进一步，所述第一螺纹杆和蜗杆均通过轴承与仓体转动连接，所述蜗杆的顶部固定安装有手轮。

进一步，所述仓体的内底壁开设有限位槽，两个所述螺纹套的底部均固定安装有一端延伸到限位槽内部的限位杆，所述限位槽与两个限位杆的移动范围相匹配，所述仓体的顶部开设有移动孔，所述移动孔与两个移动柱的移动范围相匹配。

进一步，所述收集机构包括箱体，两个所述移动柱的顶部均与箱体固定连接，所述箱体的内部固定安装有过滤网，所述箱体的内底壁固定安装有气泵。

进一步，所述箱体的正面嵌设有箱门，所述箱体的顶部开设有数量为多个的吸气孔，所述气泵的进气口连通有进气管，所述气泵的出气口连通有一端贯穿并延伸到箱体左侧的出气管。

进一步，所述定位机构包括数量为两个的竖板，两个所述竖板均固定连接在箱体的顶部，所述竖板相对的一侧固定安装有横板，所述竖板相对的一侧且位于横板的上方固定安装有安装板，所述安装板的顶部螺纹安装有一端贯穿并延伸到安装板下方的第二螺纹杆，所述第二螺纹杆的底部固定安装有定位板。