[实用新型]裂片机有效

专利信息
申请号: 202222212753.1 申请日: 2022-08-23
公开(公告)号: CN218196137U 公开(公告)日: 2023-01-03
发明(设计)人: 邹志勇;梁国炤;胡心悦;王利彪;周福海;余俊华;高云峰 申请(专利权)人: 深圳市大族半导体装备科技有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00;H01L21/67;H01L21/304
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000 广东省深圳市宝*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 裂片
【权利要求书】:

1.一种裂片机,其特征在于,包括:

机台;

受台组件,设于所述机台上,用于对料片的劈裂位置进行支撑;所述受台组件包括第一受台及第二受台,所述第一受台与所述第二受台共同支撑料片,所述第一受台及所述第二受台均能沿第一方向移动;

第一滑轨,沿第一方向设于所述机台上,所述第一受台及所述第二受台均与所述第一滑轨滑动连接;

第一驱动件,设于所述机台上,用于驱动所述第一受台沿所述第一方向移动;

第二驱动件,设于所述机台上,用于驱动所述第二受台沿所述第一方向移动;

劈刀组件,设于所述受台组件上方,用于对所述受台组件上的料片进行劈裂。

2.根据权利要求1所述的裂片机,其特征在于,所述第一受台及所述第二受台均包括:

滑板,与所述第一滑轨连接;

连接座,设于所述滑板上;

受件,设于所述连接座的顶端,用于支撑料片。

3.根据权利要求2所述的裂片机,其特征在于,所述第一受台及所述第二受台中,至少一者的所述连接座与所述滑板之间设置顶丝,以使所述第一受台及所述第二受台中至少一者的高度可调。

4.根据权利要求3所述的裂片机,其特征在于,所述顶丝为中空的圆柱形,包括底壁及侧壁;

所述顶丝的外周设有外螺纹,所述连接座上设有顶丝安装孔,所述顶丝安装孔中设有内螺纹,所述顶丝设于所述顶丝安装孔中,且所述顶丝的底部与所述滑板抵接;

所述底壁设有贯通所述底壁的安装孔,所述顶丝通过螺钉与所述滑板连接。

5.根据权利要求1所述的裂片机,其特征在于,还包括:

夹紧组件,设于所述机台上,用于支撑及夹紧料片,所述夹紧组件能沿所述第一方向移动;所述夹紧组件为环形,所述受台组件设于所述环形中。

6.根据权利要求5所述的裂片机,其特征在于,还包括:

第三驱动件,设于所述机台上,所述第三驱动件与所述夹紧组件连接,用于驱动所述夹紧组件沿所述第一方向移动;

所述第一驱动件设于所述受台组件沿所述第一方向的一端;所述第二驱动件设于所述受台组件沿第二方向的一侧,所述第三驱动件设于所述受台组件沿所述第二方向的另一侧;所述第二方向与所述第一方向垂直。

7.根据权利要求5所述的裂片机,其特征在于,所述夹紧组件包括:

安装底板,与所述机台滑动连接,能沿所述第一方向移动;

旋转台,转动设于所述安装底板上,所述旋转台包括内圈转台及外圈转台,所述内圈转台可拆卸的设于所述外圈转台内,以使所述旋转台适应不同尺寸的料片。

8.根据权利要求1所述的裂片机,其特征在于,还包括:

上料组件,设于所述机台上,包括升降台,所述升降台用于放置料盒;

定位组件,包括支撑板、定位轨道及相机;所述支撑板水平设于所述机台上,所述定位轨道设于所述支撑板沿所述第一方向的两侧;所述相机设于所述支撑板的上方,所述相机用于对所述支撑板上的料片进行拍照;

其中,所述上料组件、所述定位组件及所述受台组件沿第二方向依次设置,所述第二方向与所述第一方向垂直。

9.根据权利要求8所述的裂片机,其特征在于,所述升降台上设置有至少两组料盒安装孔位,所述料盒安装孔位用于固定料盒,至少两组所述料盒安装孔位能适用于不同尺寸的料盒;

所述支撑板上设置有至少两组轨道安装孔位,所述轨道安装孔位用于安装所述定位轨道,所述定位轨道安装至不同轨道安装孔位时,能定位不同尺寸的料片。

10.根据权利要求1所述的裂片机,其特征在于,所述劈刀组件包括:

第四驱动件,设于所述机台上;

劈刀,与所述第四驱动件的输出端连接,所述第四驱动件能驱动所述劈刀上下移动。

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