[实用新型]裂片机有效
申请号: | 202222212753.1 | 申请日: | 2022-08-23 |
公开(公告)号: | CN218196137U | 公开(公告)日: | 2023-01-03 |
发明(设计)人: | 邹志勇;梁国炤;胡心悦;王利彪;周福海;余俊华;高云峰 | 申请(专利权)人: | 深圳市大族半导体装备科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/04;B28D7/00;H01L21/67;H01L21/304 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 裂片 | ||
1.一种裂片机,其特征在于,包括:
机台;
受台组件,设于所述机台上,用于对料片的劈裂位置进行支撑;所述受台组件包括第一受台及第二受台,所述第一受台与所述第二受台共同支撑料片,所述第一受台及所述第二受台均能沿第一方向移动;
第一滑轨,沿第一方向设于所述机台上,所述第一受台及所述第二受台均与所述第一滑轨滑动连接;
第一驱动件,设于所述机台上,用于驱动所述第一受台沿所述第一方向移动;
第二驱动件,设于所述机台上,用于驱动所述第二受台沿所述第一方向移动;
劈刀组件,设于所述受台组件上方,用于对所述受台组件上的料片进行劈裂。
2.根据权利要求1所述的裂片机,其特征在于,所述第一受台及所述第二受台均包括:
滑板,与所述第一滑轨连接;
连接座,设于所述滑板上;
受件,设于所述连接座的顶端,用于支撑料片。
3.根据权利要求2所述的裂片机,其特征在于,所述第一受台及所述第二受台中,至少一者的所述连接座与所述滑板之间设置顶丝,以使所述第一受台及所述第二受台中至少一者的高度可调。
4.根据权利要求3所述的裂片机,其特征在于,所述顶丝为中空的圆柱形,包括底壁及侧壁;
所述顶丝的外周设有外螺纹,所述连接座上设有顶丝安装孔,所述顶丝安装孔中设有内螺纹,所述顶丝设于所述顶丝安装孔中,且所述顶丝的底部与所述滑板抵接;
所述底壁设有贯通所述底壁的安装孔,所述顶丝通过螺钉与所述滑板连接。
5.根据权利要求1所述的裂片机,其特征在于,还包括:
夹紧组件,设于所述机台上,用于支撑及夹紧料片,所述夹紧组件能沿所述第一方向移动;所述夹紧组件为环形,所述受台组件设于所述环形中。
6.根据权利要求5所述的裂片机,其特征在于,还包括:
第三驱动件,设于所述机台上,所述第三驱动件与所述夹紧组件连接,用于驱动所述夹紧组件沿所述第一方向移动;
所述第一驱动件设于所述受台组件沿所述第一方向的一端;所述第二驱动件设于所述受台组件沿第二方向的一侧,所述第三驱动件设于所述受台组件沿所述第二方向的另一侧;所述第二方向与所述第一方向垂直。
7.根据权利要求5所述的裂片机,其特征在于,所述夹紧组件包括:
安装底板,与所述机台滑动连接,能沿所述第一方向移动;
旋转台,转动设于所述安装底板上,所述旋转台包括内圈转台及外圈转台,所述内圈转台可拆卸的设于所述外圈转台内,以使所述旋转台适应不同尺寸的料片。
8.根据权利要求1所述的裂片机,其特征在于,还包括:
上料组件,设于所述机台上,包括升降台,所述升降台用于放置料盒;
定位组件,包括支撑板、定位轨道及相机;所述支撑板水平设于所述机台上,所述定位轨道设于所述支撑板沿所述第一方向的两侧;所述相机设于所述支撑板的上方,所述相机用于对所述支撑板上的料片进行拍照;
其中,所述上料组件、所述定位组件及所述受台组件沿第二方向依次设置,所述第二方向与所述第一方向垂直。
9.根据权利要求8所述的裂片机,其特征在于,所述升降台上设置有至少两组料盒安装孔位,所述料盒安装孔位用于固定料盒,至少两组所述料盒安装孔位能适用于不同尺寸的料盒;
所述支撑板上设置有至少两组轨道安装孔位,所述轨道安装孔位用于安装所述定位轨道,所述定位轨道安装至不同轨道安装孔位时,能定位不同尺寸的料片。
10.根据权利要求1所述的裂片机,其特征在于,所述劈刀组件包括:
第四驱动件,设于所述机台上;
劈刀,与所述第四驱动件的输出端连接,所述第四驱动件能驱动所述劈刀上下移动。
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