[实用新型]一种单晶硅棒拉制装置有效
申请号: | 202222214385.4 | 申请日: | 2022-08-22 |
公开(公告)号: | CN218596568U | 公开(公告)日: | 2023-03-10 |
发明(设计)人: | 陈永康;朱永刚;董升;李侨;任伟康;刘阳;杜婷婷 | 申请(专利权)人: | 隆基绿能科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人: | 周海业 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 拉制 装置 | ||
1.一种单晶硅棒拉制装置,其特征在于,所述单晶硅棒拉制装置包括:
炉体;
坩埚,所述坩埚设置于所述炉体内,用于容纳硅液,以从所述硅液中生长单晶硅棒;
换热器,所述换热器设置在所述炉体内,且位于所述坩埚的上方;
热屏,所述热屏套设在所述换热器外,且与所述换热器之间形成间隙;
以及,环状的磁控装置,所述磁控装置嵌设于所述换热器与所述热屏之间的间隙内,且靠近所述硅液设置,以在所述硅液内形成磁场。
2.根据权利要求1所述的单晶硅棒拉制装置,其特征在于,所述磁控装置包括环状的壳体以及环状的磁性件;
所述壳体嵌设于所述换热器与所述热屏之间的间隙内,且与所述换热器连接;
所述壳体内设有环状腔体,所述磁性件设置于所述环状腔体内。
3.根据权利要求2所述的单晶硅棒拉制装置,其特征在于,所述壳体上设置有第一进液口和第一出液口,所述第一进液口和所述第一出液口皆与所述环状腔体连通;其中,
所述第一进液口用于将冷却介质导入所述环状腔体内,所述第一出液口用于将所述环状腔体内的所述冷却介质导出。
4.根据权利要求3所述的单晶硅棒拉制装置,其特征在于,所述换热器上设置有第二进液口和第二出液口,所述第二进液口用于将冷却介质导入所述换热器内,所述第二出液口用于将所述换热器内的所述冷却介质导出;其中,
所述第一进液口与所述第二进液口连通,所述第一出液口与所述第二出液口连通。
5.根据权利要求3所述的单晶硅棒拉制装置,其特征在于,所述磁性件的外壁与所述环状腔体的内壁之间存在间隙,所述冷却介质填充于所述间隙。
6.根据权利要求5所述的单晶硅棒拉制装置,其特征在于,所述环状腔体的底部设置有多个间隔设置的支撑块,所述支撑块连接在所述磁性件的底部,以使所述磁性件与所述环状腔体形成所述间隙;
和/或,所述环状腔体的内侧壁上设置有多个间隔分布的第一凸台,所述第一凸台朝向所述磁性件延伸,所述磁性件在与所述多个第一凸台对应的位置设置有多个第二凸台,一个所述第二凸台与一个所述第一凸台配合,以使所述磁性件与所述环状腔体形成所述间隙。
7.根据权利要求2所述的单晶硅棒拉制装置,其特征在于,所述磁性件为铁磁件;其中,
所述铁磁件为环状的一体成型结构;
或者,所述铁磁件为分体结构,所述铁磁件包括多个磁块,所述多个磁块沿所述环状腔体的周向依次分布以形成环状结构。
8.根据权利要求2所述的单晶硅棒拉制装置,其特征在于,所述磁性件为电磁线圈;其中,
所述电磁线圈的轴向与所述环状腔体的轴向垂直,所述电磁线圈用于形成横向磁场;
或者,所述电磁线圈的轴向与所述环状腔体的轴向平行,所述电磁线圈用于形成竖向磁场。
9.根据权利要求2所述的单晶硅棒拉制装置,其特征在于,所述磁性件为电磁线圈;其中,
所述电磁线圈的轴向与所述环状腔体的轴向呈预设夹角设置,所述预设夹角为直角之外的夹角。
10.根据权利要求1所述的单晶硅棒拉制装置,其特征在于,所述磁控装置的内径大于所述单晶硅棒的外径,所述磁控装置的外径小于所述坩埚的内径。
11.根据权利要求10所述的单晶硅棒拉制装置,其特征在于,所述磁控装置的内径与所述单晶硅棒的外径之间的差值大于或者等于4厘米,且小于或者等于20厘米。
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