[实用新型]一种单晶硅棒拉制装置有效
申请号: | 202222214385.4 | 申请日: | 2022-08-22 |
公开(公告)号: | CN218596568U | 公开(公告)日: | 2023-03-10 |
发明(设计)人: | 陈永康;朱永刚;董升;李侨;任伟康;刘阳;杜婷婷 | 申请(专利权)人: | 隆基绿能科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人: | 周海业 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 拉制 装置 | ||
本申请实施例提供了一种单晶硅棒拉制装置,所述单晶硅棒拉制装置包括:炉体;坩埚,所述坩埚设置于所述炉体内,用于容纳硅液,以从所述硅液中生长单晶硅棒;换热器,所述换热器设置在所述炉体内,且位于所述坩埚的上方;热屏,所述热屏套设在所述换热器外,且与所述换热器之间形成间隙;以及,环状的磁控装置,所述磁控装置嵌设于所述换热器与所述热屏之间的间隙内,且靠近所述硅液设置,以在所述硅液内形成磁场。本申请实施例中,所述磁控装置可以在所述硅液内形成磁场,抑制所述硅液内部的热对流,降低所述硅液中的杂质含量,提高所述单晶硅棒的拉晶品质。而且,无需改变现有的单晶硅棒装置的原有部件即可实施,通用性较好,实施成本较低。
技术领域
本申请属于光伏技术领域,具体涉及一种单晶硅棒拉制装置。
背景技术
近年来,光伏发电作为绿色能源以及人类可持续发展的主要能源的一种,日益受到世界各国的重视并得到大力发展。单晶硅片作为光伏发电的一种基础材料,有着广泛的市场需求。单晶硅片通常由单晶硅棒进行切片处理得到,单晶硅棒则可以由硅液生长拉制而成。
目前,为了提高晶体生长速度,通常会在炉体内设置换热器,以通过换热器将单晶硅棒结晶时释放的热量快速的带出炉外。然而,换热器在带走热量的同时,也会降低固液界面处的温度,加剧硅液内部的温差,使得硅液内部的熔体对流加剧,将硅液内的含氧化合物带到固液界面并进入单晶硅棒,降低单晶硅棒的品质。现有的技术中,为了抑制硅液内部的溶体对流,通常在单晶硅棒拉制装置中引入了磁控装置。
然而,发明人在研究现有技术的过程中发现,现有的单晶硅棒拉制装置中,磁控装置通常只能对纵向或者横向单一方向的硅液热对流向进行抑制,抑制作用较为有限。且现有磁场发生设备多安装于炉体外,结构复杂且庞大,需要对原有的拉晶装置进行较大改造,工程量大,周期长,大大增加了生产成本。
实用新型内容
本申请旨在提供一种单晶硅棒拉制装置,以解决现有的单晶硅棒拉制装置拉晶品质低且难以进行磁控装置的改制的问题。
为了解决上述技术问题,本申请是这样实现的:
本申请公开了一种单晶硅棒拉制装置,所述单晶硅棒拉制装置包括:
炉体;
坩埚,所述坩埚设置于所述炉体内,用于容纳硅液,以从所述硅液中生长单晶硅棒;
换热器,所述换热器设置在所述炉体内,且位于所述坩埚的上方;
热屏,所述热屏套设在所述换热器外,且与所述换热器之间形成间隙;
以及,环状的磁控装置,所述磁控装置嵌设于所述换热器与所述热屏之间的间隙内,且靠近所述硅液设置,以在所述硅液内形成磁场。
可选地,所述磁控装置包括环状的壳体以及环状的磁性件;
所述壳体嵌设于所述换热器与所述热屏之间的间隙内,且与所述换热器连接;
所述壳体内设有环状腔体,所述磁性件设置于所述环状腔体内。
可选地,所述壳体上设置有第一进液口和第一出液口,所述第一进液口和所述第一出液口皆与所述环状腔体连通;其中,
所述第一进液口用于将冷却介质导入所述环状腔体内,所述第一出液口用于将所述环状腔体内的所述冷却介质导出。
可选地,所述换热器上设置有第二进液口和第二出液口,所述第二进液口用于将冷却介质导入所述换热器内,所述第二出液口用于将所述换热器内的所述冷却介质导出;其中,
所述第一进液口与所述第二进液口连通,所述第一出液口与所述第二出液口连通。
可选地,所述磁性件的外壁与所述环状腔体的内壁之间存在间隙,所述冷却介质填充于所述间隙。
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