[实用新型]一种晶圆覆膜载台

权利要求书

1.一种晶圆覆膜载台，包括覆膜工作台，覆膜工作台上设置载台，载台上表面设置用于放置晶圆的晶圆放置区，所述载台上表面还设置吸附区；其特征在于：所述覆膜工作台下方设置被升降驱动机构带动可以伸缩的升降支柱，所述载台的晶圆放置区设置中间通孔，所述升降支柱伸长时穿过所述载台的中间通孔；所述载台内设置光源，所述载台上位于光源上方的区域设置成透光材料制成的透明区，所述透明区包含并且大于放置晶圆的晶圆放置区的晶圆轮廓线周边区域。

2.根据权利要求1所述一种晶圆覆膜载台，其特征在于：所述工作台下方设置底架，所述底架上设置被水平驱动机构带动可以水平移动的门型框架，所述载台位于所述门型框架内，所述门型框架顶部两侧均设置有压模气缸，压模气缸的伸缩杆穿过门型框架顶部，压模气缸的伸缩杆末端连接压模托架，压模托架上转动连接压膜辊。

3.根据权利要求1所述一种晶圆覆膜载台，其特征在于：所述载台上设置负压吸附气路，所述负压吸附气路一端设置在吸附区，另一端通过管道连通负压源；所述负压吸附气路包括设置在吸附区上表面的吸附槽，所述吸附槽包括同心设置的若干环形吸附槽、以及连接各个环形吸附槽的径向吸附槽；所述载台包括内部中空、上端开口的基座以及设置在基座开口端上的载盘，所述载台上设置所述中间通孔，所述中间通孔贯穿所述基座以及所述载盘；所述基座上围绕所述中间通孔设置第一环形板，基座上还设置第二环形板，第一环形板设置在第二环形板围成的区域内部；所述第二环形板和基座的环形外壁之间为容纳环形光源的所述光源容纳腔；所述第一环形板内壁沿着圆周设置第三竖向空气通道，所述载盘上设置与第三竖向空气通道连通的吸附通孔，所述吸附通孔设置在所述径向吸附槽上靠近所述载盘中心的一端；所述第一环形板和第二环形板以及所述载盘围成负压腔；所述负压腔的底部设置与负压源通过管道连通的出气孔。

4.根据权利要求3所述一种晶圆覆膜载台，其特征在于：所述吸附槽还包括将每个所述环形吸附槽分割成间隔设置的若干圆弧形吸附槽的分隔槽，所述分隔槽轨迹为圆弧形；两个相邻的分隔槽对称设置。

5.根据权利要求3所述一种晶圆覆膜载台，其特征在于：所述载盘上距离光源最近的位置为光源接收面，所述光源接收面和载盘的透明区之间为透光材料制成，所述光源接收面和透明区位于所述光源的同侧。

6.根据权利要求1所述一种晶圆覆膜载台，其特征在于：所述透光材料为石英，所述透明区为石英制成。