[实用新型]一种用于探针台的卡盘调节结构

权利要求书

1.一种用于探针台的卡盘调节结构，包括圆形卡盘(1)和夹持件(2)，其特征在于：所述圆形卡盘(1)的一侧设置有夹持件(2)，所述圆形卡盘(1)的内部开设有安装槽(3)，所述安装槽(3)的内部设置有液压调节结构(4)，所述液压调节结构(4)一端设置有调节杆(5)，所述调节杆(5)的一端固定连接有位移件(6)，所述位移件(6)的一侧固定连接有调节块(7)，所述调节块(7)的另一侧与夹持件(2)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于探针台的卡盘调节结构，其特征在于：所述夹持件(2)的数量为三个，三个所述夹持件(2)以圆形卡盘(1)的中心为圆心呈环形阵列。

3.根据权利要求1所述的一种用于探针台的卡盘调节结构，其特征在于：所述圆形卡盘(1)的中心处开设有圆形紧固槽(8)，所述夹持件(2)的靠近圆形紧固槽(8)的一端开设有弧形夹板(9)，所述弧形夹板(9)的内壁设置有凸起防滑纹(10)。

4.根据权利要求1所述的一种用于探针台的卡盘调节结构，其特征在于：所述位移件(6)的两侧均固定连接有位移块(11)，所述安装槽(3)的两侧均开设有位移槽(12)，所述位移块(11)与位移槽(12)相适配。

5.根据权利要求1所述的一种用于探针台的卡盘调节结构，其特征在于：所述圆形卡盘(1)靠近夹持件(2)的一侧开设有调节槽(13)，所述调节块(7)与调节槽(13)相适配。

6.根据权利要求1所述的一种用于探针台的卡盘调节结构，其特征在于：所述夹持件(2)的表面开设有螺纹安装孔(14)，所述螺纹安装孔(14)的内部插接有紧固安装件(15)，所述夹持件(2)、调节块(7)和位移件(6)依次通过紧固安装件(15)固定连接。