[实用新型]一种用于探针台的卡盘调节结构

说明书

本实用新型公开了一种用于探针台的卡盘调节结构，包括圆形卡盘和夹持件，所述圆形卡盘的一侧设置有夹持件，所述圆形卡盘的内部开设有安装槽，所述安装槽的内部设置有液压调节结构，所述液压调节结构一端设置有调节杆，所述调节杆的一端固定连接有位移件，所述位移件的一侧固定连接有调节块，所述调节块的另一侧与夹持件固定连接。本实用新型通过夹持件、安装槽、液压调节结构、调节杆和调节块的设置，使用液压调节结构控制位移件移动，位移件通过调节块带动夹持件移动，从而对工件进行夹持，无需人工操作，节省时间，提高工作效率，通过弧形夹板的设置，使夹持件与表面更加吻合，便于对进行夹持，通过凸起防滑纹的设置，能够提高夹持效果。

技术领域

本实用新型涉及加工设备技术领域，具体为一种用于探针台的卡盘调节结构。

背景技术

目前在半导体测试领域，经常会使用探针台，对晶圆或者芯片进行低温下的测试，而对晶圆或者芯片进行检测的时候，需要用到卡盘对晶圆或者芯片进行夹持和固定，的卡盘在固定工件时使用不便，夹持效果差，影响工作效率，因此，需要一种用于探针台的卡盘调节结构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于探针台的卡盘调节结构以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于探针台的卡盘调节结构，包括圆形卡盘和夹持件，所述圆形卡盘的一侧设置有夹持件，所述圆形卡盘的内部开设有安装槽，所述安装槽的内部设置有液压调节结构，所述液压调节结构一端设置有调节杆，所述调节杆的一端固定连接有位移件，所述位移件的一侧固定连接有调节块，所述调节块的另一侧与夹持件固定连接。

优选的，所述夹持件的数量为三个，三个所述夹持件以圆形卡盘的中心为圆心呈环形阵列。

优选的，所述圆形卡盘的中心处开设有圆形紧固槽，所述夹持件的靠近圆形紧固槽的一端开设有弧形夹板，所述弧形夹板的内壁设置有凸起防滑纹。

优选的，所述位移件的两侧均固定连接有位移块，所述安装槽的两侧均开设有位移槽，所述位移块与位移槽相适配。

优选的，所述圆形卡盘靠近夹持件的一侧开设有调节槽，所述调节块与调节槽相适配。

优选的，所述夹持件的表面开设有螺纹安装孔，所述螺纹安装孔的内部插接有紧固安装件，所述夹持件、调节块和位移件依次通过紧固安装件固定连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过夹持件、安装槽、液压调节结构、调节杆和调节块的设置，使用液压调节结构控制调节杆移动，调节杆带动位移件移动，位移件通过调节块带动夹持件移动，从而对工件进行夹持，无需人工操作，节省时间，提高工作效率。

2、本实用新型通过弧形夹板的设置，使夹持件与表面更加吻合，便于对进行夹持，通过凸起防滑纹的设置，能够提高夹持效果，通过位移块与位移槽的配合，能够提高位移件带动夹持件移动时的稳定性，通过调节槽的设置，能够防止夹持件晃动，提高夹持效果。

附图说明

图1为本实用新型的主视结构示意图；

图2为本实用新型的主视剖面结构示意图；

图3为本实用新型的侧视局部剖面结构示意图；

图4为本实用新型的位移件局部结构示意图。

图中：1、圆形卡盘；2、夹持件；3、安装槽；4、液压调节结构；5、调节杆；6、位移件；7、调节块；8、圆形紧固槽；9、弧形夹板；10、凸起防滑纹；11、位移块；12、位移槽；13、调节槽；14、螺纹安装孔；15、紧固安装件。

具体实施方式