[实用新型]过渡腔室和镀膜设备

权利要求书

1.一种过渡腔室，包括主体，所述主体内设置有腔体，所述腔体内部设置有基座，所述基座上间隔设置有支撑架，所述支撑架用于支撑面板，所述支撑架通过连接件与所述基座连接，所述连接件设置在所述支撑架长度方向的两端，其特征在于，所述支撑架的下表面凹陷设置有凹槽，所述支撑架具有两个相对的周侧面，两个所述周侧面与所述支撑架的长度方向平行，所述凹槽至少与其中一个所述周侧面连通，所述支撑架的下方还设置有加强结构，所述加强结构支撑所述凹槽的槽底。

2.根据权利要求1所述的过渡腔室，其特征在于，所述加强结构为加强筋，所述加强筋的一端与所述凹槽的槽底连接，另一端与所述凹槽的槽壁连接。

3.根据权利要求1所述的过渡腔室，其特征在于，所述加强结构为支撑柱，所述支撑柱的上端通过滑动组件与所述支撑架滑动连接，所述支撑柱的下端与所述基座抵紧。

4.根据权利要求3所述的过渡腔室，其特征在于，所述滑动组件包括安装座、丝杆和滑轨，所述安装座固定在所述凹槽的槽底，所述丝杆与所述安装座可转动连接，所述支撑柱与所述丝杆螺纹连接，所述滑轨固定在所述安装座上，所述支撑柱滑动设置在所述滑轨上。

5.根据权利要求4所述的过渡腔室，其特征在于，所述滑动组件包括电机，所述电机的输出轴与所述丝杆连接，所述安装座上设置有位置传感器，所述位置传感器与所述电机电连接，所述位置传感器用于检测所述支撑柱的位置。

6.根据权利要求3所述的过渡腔室，其特征在于，所述支撑柱的下端设置有滚轮。

7.根据权利要求3所述的过渡腔室，其特征在于，所述滑动组件包括第一安装板和第二安装板，所述第一安装板呈环形，所述第一安装板固定在所述凹槽的槽底，所述第二安装板设置在所述支撑架的下方并位于所述第一安装板的环形区域内，所述第二安装板和所述第一安装板的内侧壁之间设置有第一转动轮，所述第二安装板和所述支撑架之间设置有第二转动轮，所述支撑柱固定在所述第二安装板上，所述支撑柱至少设置有两个，所有的所述支撑柱绕所述第一安装板的中心环形均布。

8.根据权利要求7所述的过渡腔室，其特征在于，所述第一安装板的下端朝向所述第一安装板的中心延伸形成限位凸起，所述限位凸起位于所述第二安装板的下方。

9.一种镀膜设备，包括分配腔室和多个镀膜腔室，其特征在于，还包括如权利要求1-8任一项所述的过渡腔室，所述过渡腔室通过所述分配腔室与所有的所述镀膜腔室连通。

10.根据权利要求9所述的镀膜设备，其特征在于，所述分配腔室内设置有检查器，所述分配腔室设置有进出口，面板通过所述进出口进入或离开所述分配腔室，所述检查器邻近于所述进出口，所述检查器用于检测所述面板的质量。